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HOBIBA堀場玉科全新高精度 TMAH 濃度監測儀
HOBIBA堀場玉科全新高精度 TMAH 濃度監測儀
高精度 TMAH 濃度監測儀
具有高度耐化學性的碳傳感器，可以高精度測量 TMAH 濃度，這是光刻膠顯影解決方案的主要組成部分。
高精度
濃度：0–3%，電導率：0–1000 mS/cm，重復性：能夠測量 ±0.003wt% 以內的 TMAH 濃度
顯示范圍自動切換
顯示范圍從高濃度自動切換到低濃度。此外，還可以在保持有效電導率分辨率的同時監測變化。
3 次測量
能夠進行三種測量，即 TMAH 濃度、電導率和溫度。
| 型號名稱 | HE-960H-TM-S 系列 |
|---|---|
| 測量對象 | 四甲基氫氧化氫 |
| 測量范圍 | 濃度：0 - 3%，電導率：0 - 1000 mS/cm |
| 重復性 | +/- 0.003wt% 以內（溫度變化小于 +/- 0.5°C，使用等效電導率輸入） |
| 線性 | +/- 0.003wt% 以內（使用等效電導率輸入） |
| 傳輸輸出 | 輸出數量：4 |
| 觸點輸出 | 輸出：5 點 |
| 通信輸出 | RS-485 系列 |
| 電源 | 24V 直流 +/- 10% 10W |
| 兼容的傳感器 | FES-510 系列 |
| 傳感器的接液材料 | GC、PFA、Karletz® |
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