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HOBIBA堀場玉科全新自動范圍切換濃度監測器
HOBIBA堀場玉科全新自動范圍切換濃度監測器
在線傳感器和自動范圍切換濃度監測器
傳感器與 PFA（全氟烷氧基）接液部件相結合，尺寸優化到絕對極限。它還可以處理高達 50% HF 濃度的大范圍測量，符合半導體工藝的衛生要求。
寬范圍兼容
從低濃度到高濃度（高達 50% HF 濃度）的自動量程功能可在每個目標濃度下實現最佳測量性能。
無污染
采用具有衛生結構的傳感器，僅使用 PFA 作為接液材料。作為一種耐化學腐蝕的傳感器，它能夠測量半導體工藝中使用的各種化學品。
高穩定性/再現性精度
它實現了 ±0.5% FS 的重現精度。
| 型號名稱 | HF-960EM 系列 |
|---|---|
| 測量范圍 | HF： 0 - 50%， HCl： 0 - 10%， 電導率： 0 - 2000 mS/cm |
| 重復性 | +/- 0.5% F.S.（等效輸入） |
| 線性 | +/- 0.5% F.S.（等效輸入） |
| 傳輸輸出 | 輸出數量：4 |
| 觸點輸出 | 輸出：5 點 |
| 通信輸出 | RS-485 系列 |
| 電源 | 直流 24 伏 +/- 10% 15W |
| 兼容的傳感器 | CM-520 系列 |
| 傳感器的接液材料 | PFA 系列 |
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