產(chǎn)地類別	進口	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),綜合

HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀

光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀

CS-620F 系列

磷酸濃度監(jiān)測儀，無需冷卻即可實時測量高溫磷酸。

非常適合管理磷酸濃度，主要用于 3D NAND 閃存 SiN 層的蝕刻工藝*1，這是半導(dǎo)體制造工藝的一部分。
*1 SiN 層：在硅晶片和類似襯底上形成的由硅和氮化合物組成的薄膜。

產(chǎn)品名稱	化學(xué)溶液監(jiān)測儀
型	CS-620F 系列
測量原理	吸收光譜法
計算原理	溫度補償型多變量分析
樣本	H3采購訂單4/小時2O
可測量范圍重復(fù)性		元件	可測量范圍（mass%）	重復(fù)性（mass%）	模擬輸出范圍（質(zhì)量%）
	第 1 個解決方案	H3采購訂單4	85.00-92.00	+/-0.10	85.00-100.00
	第 1 個解決方案	H2O	8.0-15.0	+/-0.3	0.0-15.0
	? 重復(fù)性由平均值（1 小時）的最大誤差定義。 ? 使用相同化學(xué)品進行低溫測量（140°C）和高溫測量（170°C）時，可能會有差異（最大 +/- 0.30%）。
測量條件	1）測量間隔：約 3 秒（最小） 2）移動平均：16 次
連接配件尺寸	1 英寸或 3/4 英寸
樣品條件	樣品溫度：140 至 170°C 大氣溫度、化學(xué)溫度波動：+/- 1°C 以內(nèi)（時間：1 小時）輸入壓力：0.2 MPa 或更低壓力波動：0.02 MPa 或更低流量：1 至 30 L/min
空氣（用于作和吹掃）	連接端口：4 mm 外徑快速接頭壓力：0.2 MPa ± 0.02 MPa
電源	100 至 230 V AC（單相），50/60 Hz
功耗	約 85 VA（不包括啟動時的瞬態(tài)電流）
通信	并行 I/O、RS-232C、模擬輸出
尺寸	（監(jiān)視器） 200 （W） × 308 （D） × 78 （H） mm （燈單元） 200 （W） × 262 （D） × 100 （H） mm （樣品池） 240 （W） × 209 （D） × 205 （H） mm
重量	（監(jiān)視器）約 3.6 kg （燈單元）約 2.8 kg （樣品池）約 3.0 kg
環(huán)境溫度	（監(jiān)視器、燈單元） 20 至 30°C （光纖、樣品池） 20 至 100°C * 應(yīng)避免溫度突然變化，在 +/- 1°C/1 小時內(nèi)
環(huán)境濕度	（顯示器、燈單元） 40 至 70%（應(yīng)無結(jié)露）
安裝傾斜角度	（顯示器、燈單元）+/-1 度以內(nèi)（樣品池）請安裝，以免氣泡停留。
光纖	長度： 5 m，彎曲半徑： R150 mm

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