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邁可諾技術有限公司

主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機

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公司信息

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鄧經(jīng)理
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4008800298
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13681069478
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洪山區(qū)珞獅南路147號未來城A棟
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www.mycro.net.cn
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http://sitka.cn/st119375/
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UNIXX S 30 D顯影機
顯影機
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號 UNIXX S 30 D
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 武漢市

更新時間:2024-05-17 13:31:43瀏覽次數(shù):3269

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

【簡單介紹】
產(chǎn)地類別 進口 應用領域 化工,電子
UNIXX S 30 D 顯影機是應用于顯影工藝的設備,適用的基板尺寸為2英寸到12英寸的
圓片和最大到9英寸x9英寸的方片。新設計的三片式可拆卸工藝腔體可實現(xiàn)良好的工藝
均勻性和重復性,設備也可用于清洗和旋干工藝。
UNIXX S 30 D的落地式柜體經(jīng)專門設計,方便操作和維修。它是一款手動顯影機,適
用于實驗室開展科學研究和技術開發(fā)。設備具有多選項(例如可編程流體輸送臂)并且
可以升級成自動化
【詳細說明】

特點 

可處理基板尺寸最大9"x 9" (230 x 230mm) 方片或 ? 12" (? 300mm)圓片 

采用真空或微接觸夾具針對圓形和方形基板 

不同尺寸的圓片/方形片的夾具可容易更換 

真空安全聯(lián)鎖功能 

觸摸屏輸入顯示 啟動、停止及真空操作按鈕 

可編程速度和加速度 馬達轉(zhuǎn)速最大可達8000轉(zhuǎn)/分鐘    

易拆卸雙片腔體本體和防濺環(huán) 

網(wǎng)絡接口 

USB接口 

選項 

? 電子流體輸送手臂--移動速度和位置可編程 

? 液體噴嘴 噴霧型,射流型 

? 熱流體線,最高80°C 

? 真空或微接觸夾具 不同尺寸

? 可拆卸工藝腔體及防濺環(huán) 

? 熱板 

? 熱板接近式烘烤, 手動可調(diào)接近距離 ? 可編程接近距離熱板

? 真空泵 

? 附加HMDS熱板 

性能參數(shù) 

觸摸屏程序輸入 

? 程序數(shù): 100 

? 程序步數(shù): 50 

? 最長單步時間: 999

? 單步時間分辨率: 0.1秒 

旋轉(zhuǎn)馬達 

? 旋轉(zhuǎn)速度: 最高 8.000 轉(zhuǎn)/分鐘

? 轉(zhuǎn)速分辨率: 1轉(zhuǎn)/分鐘 

? 旋轉(zhuǎn)精度: ± 2 轉(zhuǎn)/分鐘 

? 加速度: 最高 50,000 轉(zhuǎn)/分鐘/* *和基片重量有關 

熱板 

?溫度范圍: 最高 300°C

?溫度分辨率: 0.1°C 

? 溫度均勻性( 100°C ) : < ± 0.5°C 動力需求 

?電源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A 

? 壓縮空氣: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm 

? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm 

? N氮氣 (選項): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm

設備外形(x x )

?落地式柜體: 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6"x 25.6"x 52") 

?帶水平調(diào)節(jié) 

?不銹鋼框架



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