SDY-4型四探針測試儀



SDY-4型四探針測試儀是根據單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準設計的半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀器.
儀器以大規模集成電路為核心部件,采用平面輕觸式開關控制,及各種工作狀態LED指示.應用微計算機技術，利用HQ-710E型測量數據處理器，使得測量讀數更加直觀、快速，并能實現晶片厚度自行修正，打印出全部預置和測量、計算數據。整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩定性好、易操作。
SDY4 本儀器可滿足半導體材料、器件的研究生產單位對材料(棒材、片材)電阻率及擴散層、離子注入層、異型外延層和導電薄膜方塊電阻測量的需要。

技術指標
1 測量范圍: 電阻率:0.001-200Ω.cm(可擴展);
方塊電阻:0.01-2000Ω/口(可擴展);
2 可測晶片直徑(zui大):100mm(配J-2B型手動測試臺)
200mm(配J-51型手動測試臺)
3 恒流源:電流量程分為0.1、1、10、100(mA)四檔,各檔電流連續可調.誤差〈±0.3%
4 數字電壓表:
量程:0-199.99mV; 分辨率:10μV
顯示:四位半紅色發光管數字顯示;極性、小數點、超量程自動顯示。
輸入阻抗〉1000MΩ; 精度:±0.1%.
5 zui大電阻測量誤差(按JJG508-87進行):0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字.
6 四探針探頭:
間距:1±0.01mm;針間絕緣電阻≥1000MΩ;機械游移率:≤0.3%
探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓(總力) TZT-9C/9D 5-8 牛頓(總力)
7 整機不確定度:(用硅標樣片測試)≤5% (0.01-180Ω.cm)
8 外形尺寸:電氣主機:360mm×320mm×100mm；數據處理器：300mm×210mm×105mm
9 數據處理器功能:
A 鍵盤控制測量取數,自動進行電流換向,并進行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示出平均值.測薄片時,可自動進行厚度修正;
B 鍵盤控制數據處理,運算電阻率平均值和電阻率值zui大百分變化及平均百分變化;
C 鍵盤控制打印全部測量數據.測量條件、zui大電阻率值、zui小電阻率值、電阻率zui大百分變化及平均百分變化。
10 儀器重量：電氣主機：約4kg；測試臺：約10kg，數據處理器：約2.5kg
11 測試環境：溫度23±2℃；相對濕度≤65％；無高頻干擾；無強光照射。
訂購指南

編號 品名 說明 單價(元/套)
142122 SDY-4型 SDY-4型主機、J-2B型測試臺、裝配9B或9D探頭 16366.00
142124 SDY-4型主機、J-2B型測試臺、710-E型數據處理器(含微型打印機)、裝配9B或9D探頭 24266.00
142126 SDY-4型主機、DJ-2型電動測試臺、裝配9D探頭 23157.00
142128 TZT-9B型四探針探頭 探針間距1mm針距，針尖材料:碳化鎢;針尖曲率半徑:40±5μm;探針壓力:12至16牛頓(總壓力，此范圍內可調);探針機械游移率:小于0.3%;探針伸出長度2+0.5mm;針尖錐體夾角60度;針間絕緣電阻:大于109Ω

TZT-9B型四探針探頭采用環氧精澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.同時使用復合材料作探針,從而提高探針頭的使用壽命.它具有絕緣性能好、測試數據可靠，使用壽命長等特點。它的所有技術指標符合國家標準，同時符合美國ASTM標準的有關規定。TZT-9B型四探針探頭的壓力為：12至16牛頓，它適用于測棒狀單晶縱向電阻率和截面電阻率，適用于測片狀單晶(其厚度≥1mm)的電阻率.用于測棒、厚片
1468.00
142130 TZT-9D型四探針探頭 探針間距1mm針距，針尖材料:碳化鎢鋨合金;針尖曲率半徑:40±5μm;探針壓力:5至8牛頓(總壓力，此范圍內可調);探針機械游移率:小于0.3%;探針伸出長度2+0.5mm;針尖錐體夾角60度;針間絕緣電阻:大于109Ω

TZT-9D型四探針探頭采用環氧精澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.同時適用復合材料作探針,從而提高探針頭的使用壽命.它具有絕緣性能好、測試數據可靠，使用壽命長等特點。它的所有技術指標符合國家標準，同時符合美國ASTM標準的有關規定。用于測薄片
1468.00
142132 J-2B型手動測試臺(樣品直徑100mm) 1798.00
142134 DJ-2型電動測試臺(樣品直徑150mm) 8589.00
142136 SDY-4C型二探針測試儀 SDY-4C型二探針測試儀主機、J-41型二探針測試臺；710-C型數據處理器(含微型打印機)、裝配9I型探頭 28174.00
142138 TZT-9A型四探針探頭 探針間距:1±0.01mm;探針鋼材:高速鋼;探針壓力:12牛頓至16牛頓(總壓力,可調);探針機械游移率:小于0.3%;探針伸出長度:2+0.5mm針尖錐體夾角:60度;針間絕緣電阻:大于109Ω

TZT-9A型四探針探頭采用環氧精密澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.它具有絕緣性能好、測試數據可靠等特點。其所有技術指標符合國家標準，同時符合美國A S T M標準的有關規定，用于測棒、厚片
1096.00
142140 TZT-9C型四探針探頭 探針間距:1±0.01mm;探針鋼材:高速鋼;探針壓力:5牛頓至8牛頓(總壓力,此范圍內可調);探針機械游移率:小于0.3%;探針伸出長度:2+0.5mm針尖錐體夾角:60度;針間絕緣電阻:大于109Ω

TZT-9C型四探針探頭采用環氧精密澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.它具有絕緣性能好、測試數據可靠等特點。其所有技術指標符合國家標準，同時符合美國A S T M標準的有關規定，用于測薄片
1096.00
142142 TZT-9G型四探針探頭 探針間距:1,59±0.015mm;探針鋼材:高速鋼;探針壓力:5牛頓至8牛頓(總壓力,此范圍內可調);探針機械游移率:小于0.3%;探針伸出長度:2+0.5mm針尖錐體夾角:60度;針間絕緣電阻:大于109Ω

TZT-9G型仲裁四探針探頭是根據美國ASMT標準中F84*使用的探針頭而生產的.采用環氧精密澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.它具有絕緣性能好、測試數據可靠等特點。其所有技術指標符合國家標準，同時符合美國A S T M標準的有關規定，用于測薄片
1635.00
142144 TZT-9H型二探針頭(4.76mm針距) 1096.00
142146 TZT-9I型二探針頭(10mm針距) 1096.00
142148 J-51型手動測試臺(樣品臺直徑200mm) 2735.00
142150 J-41型二探針測試臺(有效長度700mm) 5978.00