SDY-4型四探針測試儀(配DJ-1型電動測試臺)



SDY-4四探針測試儀是根據單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準設計的半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀器。
儀器以大規模集成電路為核心部件,應用模擬和數字控制技術,配備微型電動升降測試臺：采用平面輕觸式開關控制,及各種工作狀態LED指示。整套儀器體積小、功耗低、測量精度高、測試速度快、穩定性好、易操作。
本儀器適用于測量半導體晶片電阻率，以及擴散層材料、離子注入層、異型外延層的方塊電阻。也可測量在玻璃等絕緣材料上形成的器件的導電薄膜方塊電阻。

技術指標
1 測量范圍：電阻率：0.001-200Ω.cm(可擴展)。 方塊電阻：0.01-2000Ω/口(可擴展)。
2 可測晶片直徑(zui大)：100mm/150mm。
3 恒流源：電流量程分為0.1、1、10、100(mA)四檔,各檔電流連續可調。誤差〈±0.3%
4 數字電壓表：量程：0-199.99mV。 分辨率：10μV。顯示：四位半紅色發光管數字顯示。極性、小數點、超量程自動顯示。輸入阻抗〉1000MΩ。 精度：±0.1%.
5 zui大電阻測量誤差(按JJG508-87進行)：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字.
6 四探針探頭：間距：1±0.01mm。針間絕緣電阻≥1000MΩ。機械游移率：≤0.3%
探針壓力：TZT-9C/9D 5-8 牛頓(總力)
7 整機不確定度：(用硅標樣片測試)≤5% (0.01-180Ω.cm)
8 外形尺寸：電氣主機：360×320×100mm；測試臺：260×154×250mm
9 數據處理器：300×210×105mm
10 儀器重量：電氣主機：約4kg；測試臺：約10kg
11 測試環境：溫度23±2℃；相對濕度≤65％；無高頻干擾；無強光照射。

主要功能特點

1.測試數據自動保持(當該功能選擇有效時)。
2.無樣品數據自動顯示為零(當該功能選擇有效時)。
3.無外負載式電流調整。
4.恒流源電路正常自動顯扎示。
5.電動測試臺多種操作方法選擇。


訂購指南

編號 品名 備注 單價(元)
142118 SDY4四探針測試儀 SDY-4型四探針測試儀主機、DJ-1型電動測試臺、裝配9D探頭 20968.00/套
142120 TZT-9D型四探針探頭 探針間距1mm針距，針尖材料：碳化鎢鋨合金。針尖曲率半徑：40±5μm。探針壓力：5至8牛頓(總壓力，此范圍內可調)。探針機械游移率：小于0.3%。探針伸出長度2+0.5mm。針尖錐體夾角60度。針間絕緣電阻：大于109Ω

TZT-9D型四探針探頭采用環氧精澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.同時適用復合材料作探針,從而提高探針頭的使用壽命.它具有絕緣性能好、測試數據可靠，使用壽命長等特點。它的所有技術指標符合國家標準，同時符合美國ASTM標準的有關規定。用于測薄片
1468.00