VTC-600GD高真空磁控濺射儀
- 公司名稱(chēng) 沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間 2024/12/26 8:42:30
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 589
聯(lián)系方式:吳女士15640436639 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
切割機(jī),金剛石線(xiàn)切割機(jī),研磨拋光機(jī),提拉涂膜機(jī),旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī),真空鍍膜機(jī),管式爐,箱式爐,電池實(shí)驗(yàn)研究設(shè)備,清洗機(jī)
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
VTC-600GD高真空磁控濺射儀是新自主研制開(kāi)發(fā)的鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600GD高真空磁控濺射儀至多可選配四個(gè)靶槍?zhuān)涮咨漕l電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。與同類(lèi)設(shè)備相比,其不僅應(yīng)用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備,特別適用于實(shí)驗(yàn)室研究固態(tài)電解質(zhì)及OLED等。
至多可選配四個(gè)靶槍?zhuān)涮咨漕l電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜(靶槍可以根據(jù)客戶(hù)需要任意調(diào)換)。
可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。
體積小,操作簡(jiǎn)便。
整機(jī)模塊化設(shè)計(jì),真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì),可根據(jù)用戶(hù)實(shí)際需要調(diào)整。
可根據(jù)用戶(hù)實(shí)際需要選擇電源,可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍?zhuān)部啥鄠€(gè)電源單一控制靶槍。
產(chǎn)品名稱(chēng) | VTC-600GD高真空磁控濺射儀 | |
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-600GD | |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)及減壓閥 4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 | |
主要參數(shù) | 1、電源電壓:220V 50Hz 2、總功率:<3.5KW 3、腔體內(nèi)徑:?300mm 4、極限真空8.0x10-5Pa 5、工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度) 6、靶槍數(shù)量:4個(gè) 7、靶槍冷卻方式:水冷 8、靶材尺寸:?2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同) 9、直流濺射功率:500W(可選) 10、射頻濺射功率:300W 11、載樣臺(tái):?140mm 12、載樣臺(tái)轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào) 13、保護(hù)氣體:Ar、N2等惰性氣體 14、進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣,1個(gè)流量為100 SCCM,1個(gè)流量為200 SCCM | |
產(chǎn)品規(guī)格 | ·尺寸: 主機(jī)尺寸:850mm×760mm×660mm,整機(jī)尺寸:1300mm×660mm×1200mm; ·重量:190kg |
序號(hào) | 名稱(chēng) | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
1 | 直流電源控制系統(tǒng) | (可選)套 | - |
2 | 射頻電源控制系統(tǒng) | 1套 | - |
3 | 膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng) | 1套 | - |
4 | 分子泵 | 1臺(tái) | - |
5 | 冷水機(jī) | 1臺(tái) | - |
6 | 聚酯PU管(?6mm) | 4m | - |
序號(hào) | 名稱(chēng) | 功能類(lèi)別 | 圖片鏈接 |
1 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | (可選) | - |
2 | 可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜 | (可選) | - |