溫控模塊

制冷/加熱方式

液氮制冷，電阻加熱

溫控范圍

-196~300°C*

-196~600°C*

溫度穩(wěn)定性

±0.1°C

溫度分辨率

0.1°C

最大升溫速率

0~150°C/min (可定點/程序段控溫)

溫控方式

PID

溫度傳感器

PT100

光學(xué)特性

光路

反射/透射光路（可選）

視窗材質(zhì)

石英玻璃*

視窗尺寸

φ18mm*

視窗厚度

0.2mm*

物鏡工作距離

6.5mm*

透光孔

φ2mm*

視窗除霜

上視窗除霜

電學(xué)特性

探針

移動探針模組x4 *,手動調(diào)整

探針接口

SMA接口x4*

探針直徑

10μm、50μm、100μm*（可選）

樣品臺面電位

接地（默認接地）/電懸空/三同軸*（可選）

結(jié)構(gòu)特性

樣品臺尺寸

φ27mm*

樣品臺材質(zhì)

銅質(zhì)*

純銀*

外形尺寸

131*120*24.5 mm

樣品腔高度

4mm*

腔室

氣密

外殼冷卻

循環(huán)水

基本配置

冷熱臺x1、溫控系統(tǒng)x1、低溫系統(tǒng)x1、液氮罐2Lx1、循環(huán)水系統(tǒng)x1、溫控軟件

選配

電腦主機/平板電腦/觸控屏/安裝支架/真空系統(tǒng)/其他定制

備注

以上為默認參數(shù)  * 為可定制項

其他可選型號

按需求進行配置