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參考價(jià): | 面議 |
- 產(chǎn)品型號
- OTSUKA/日本大塚 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù):35更新時(shí)間:2025-02-21 10:51:19
- 聯(lián)系人:
- 馬經(jīng)理/冉經(jīng)理
- 電話:
- 手機(jī):
- 19938139269,18284451551
- 地址:
- 中國四川省成都市郫都區(qū)創(chuàng)智東二路58號綠地銀座A座1118
- 網(wǎng)址:
- www.fujita-cn.com
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
MINUK可評價(jià)nm級的透明的異物?缺陷,一次拍照即可瞬時(shí)獲得深度方向的信息,可非破壞?非接觸?非侵入的進(jìn)行測量。且無需對焦,可在任意的面進(jìn)行高速掃描,輕松決定測量位置。
日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀-成都藤田科技提供
● 非接觸、非破壞式,量測頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內(nèi)
● 初學(xué)者也能輕松解析建模的初學(xué)者解析模式
● 高精度、高再現(xiàn)性量測紫外到近紅外波段內(nèi)的反射率,可分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))
● 單點(diǎn)對焦加量測在1秒內(nèi)完成
● 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外 ~ 近紅外)
● 獨(dú)立測試頭對應(yīng)各種inline定制化需求
● 最小對應(yīng)spot約3μm
● 可針對超薄膜解析nk
量測項(xiàng)目
● 反射率分析
● 多層膜解析(50層)
● 光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))
膜或者玻璃等透明基板樣品,受基板內(nèi)部反射的影響,無法正確測量。OPTM系列使用物鏡,可以物理去除內(nèi)部反射,即使是透明基板也可以實(shí)現(xiàn)高精度測量。此外,對具有光學(xué)異向性的膜或SiC等樣品,也可不受其影響,單獨(dú)測量上面的膜。
應(yīng)用范圍
● 半導(dǎo)體、復(fù)合半導(dǎo)體:硅半導(dǎo)體、碳化硅半導(dǎo)體、砷化鎵半導(dǎo)體、光刻膠、介電常數(shù)材料
● FPD:LCD、TFT、OLED(有機(jī)EL)
● 資料儲存:DVD、磁頭薄膜、磁性材料
● 光學(xué)材料:濾光片、抗反射膜
● 平面顯示器:液晶顯示器、薄膜晶體管、OLED
● 薄膜:AR膜、HC膜、PET膜等
● 其它:建筑用材料、膠水、DLC等
規(guī)格式樣
(自動(dòng)XY平臺型)
OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 | |
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波長范圍 | 230 ~ 800 nm | 360 ~ 1100 nm | 900 ~ 1600 nm |
膜厚范圍 | 1nm ~ 35μm | 7nm ~ 49μm | 16nm ~ 92μm |
測定時(shí)間 | 1秒 / 1點(diǎn)以內(nèi) | ||
光徑大小 | 10μm (最小約3μm) | ||
感光元件 | CCD | InGaAs | |
光源規(guī)格 | 氘燈 鹵素?zé)?/p> | 鹵素?zé)?/p> | |
尺寸 | 556(W) X 566(D) X 618(H) mm (自動(dòng)XY平臺型的主體部分) | ||
重量 | 66kg(自動(dòng)XY平臺型的主體部分) |
量測案例
半導(dǎo)體行業(yè) - SiO2、SiN膜厚測定案例
FPD行業(yè) - 彩色光阻膜厚測定
FPD行業(yè) – 用傾斜模式解析ITO構(gòu)造
日本Otsuka大塚OPTM series顯微分光膜厚儀-成都藤田科技提供