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型號(hào)
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
所在地 合肥市

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更新時(shí)間：2025-01-17 21:42:49瀏覽次數(shù)：132評(píng)價(jià)

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產(chǎn)品分類品牌分類

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品特點(diǎn)高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)；可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長(zhǎng)溫度更低

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；

滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū)；

可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長(zhǎng)溫度更低。

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目	型號(hào)	TFE - 1200 - 50 - 220
溫度		1150℃（短期）
額定溫度		1100℃
推薦升溫速率		≤10℃/min
控制精度		±1℃
爐管尺寸		Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸		Φ80*220mm
加熱區(qū)長(zhǎng)度		220mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度		80mm
加熱元件		優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)電阻絲
額定功率		3KW
供氣系統(tǒng)		三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制）
射頻電源		射頻功：5-500W；射頻頻：13.56MHz；匹配方式：自動(dòng)匹配
真空系統(tǒng)		雙級(jí)旋片真空泵（可定制擴(kuò)散泵分子泵等）
外形尺寸		1250510810mm

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