日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機(jī)

用于研究和開發(fā)的中電流離子注入機(jī)SME-3500

中電流離子注入機(jī)IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機(jī)，非常適合大學(xué)的研發(fā)。

特征

最大晶圓尺寸為8英寸，配備可處理不規(guī)則形狀基板的壓板。
除了氣體源之外，固體蒸發(fā)源也可用于易于安全處理 B、P 和 As 離子的離子源。
高壓端子部分與量產(chǎn)設(shè)備配置相同，確保高可靠性。

規(guī)格

活力	30 至 200keV（可選 3 至 200keV）
最大束流	11B+ 400μA（200keV) 31P+ 600μA（200keV)
最小束流	150納安
離子種類	B、P、As、Si、Ge、Sb、In 他

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