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蔡司雙束電鏡 Crossbeam系列
 

[產品簡介]

蔡司雙束電鏡Crossbeam系列，是專為高通量3D分析和樣品加工制備量身打造的FIB-SEM雙束電鏡。該系列將場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)鏡筒強大的成像和分析性能與全新一代聚焦離子束(FIB)鏡筒出色的加工能力相結合。無論是加工、成像或進行3D分析，都能在不損失精度的前提下，提高聚焦離子束的應用效率。模塊化的平臺概念可以進行后續系統升級，從而滿足您不斷增加的應用需求。通過加裝飛秒激光（Femtosecond Laser）模塊，Crossbeam的加工效率和尺度可進一步拓展，同時可以滿足多種微納加工需求。無論是在科研實驗室或工業環境中工作，抑或是單用戶或多用戶工作環境，都能提供高質量的解決方案。
 

一、[產品特點]

1、低電壓下獲得高分辨率電子圖像；

2、可實現大尺寸到納米精度的切割；

3、批量自動制備TEM薄片樣品；

4、Atlas 5可創建多尺度、多模式綜合圖像；

5、ToF-SIMS 實現高通量3D成分分析；

6、無漏磁電子鏡筒實現真正邊切邊看；

7、不導電樣品不受荷電效應影響；

8、加裝飛秒激光模塊，實現亞毫米級快速加工，同時有效避免腔室污染；
 

二、[應用領域]

1、生命科學，如斷層掃描，三維重構；

2、電池領域，如組分表征；

3、半導體領域，如失效分析，電路修復；

4、金屬領域，如界面分析，亞表面分析；

5、材料科學，如晶體微觀結構分析，微納圖形加工；

6、透射電鏡、原子探針（ATP）、EBSD、微納力學等多種樣品的原位制備。
 

GaN HEMT器件TEM樣品制備

                                    在硅基底上加工納米微流通道

                                       3D NAND連續層析成像

Laser大截面快速加工及IC中微柱截面背散射電子成像

                                        原子探針樣品制備

                                        線蟲三維成像