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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
SONIX超聲顯微鏡被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及集成電路的制造和封裝測試行業(yè)，是一種理想的無損檢測儀器，能夠有效地檢測器件或材料內(nèi)部的開裂、氣泡、雜質(zhì)、斷層等缺陷。
其主要工作原理是，通過壓電陶瓷將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成超聲波(>20KHz)，用超聲波對(duì)樣品內(nèi)部進(jìn)行高精度地掃描，根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異，獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射，再經(jīng)由軟件算法處理和成像。SAM的核心構(gòu)成為，電氣部件、機(jī)械裝置、聲學(xué)部件、軟件系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷，而且對(duì)于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有的檢測性能。提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量，使用 ECHO 的設(shè)備和軟件容易的設(shè)置和使用。
| 技術(shù)參數(shù)： | |||
| 機(jī)臺(tái)尺寸 | 79cm*9cm*22cm | 步進(jìn)軸（Y） | 定位裝置：低電磁干擾導(dǎo)軌式步進(jìn)馬達(dá) |
| 掃描軸（X） | 定位裝置： 線性伺服馬達(dá) | 分辨率：0.25um | |
| 大速度：1000mm/sec | 大掃描區(qū)域：350mm | ||
| 重復(fù)精度：+/-0.5um | 聚焦軸（Z） | 定位裝置：低電磁干擾導(dǎo)軌式步進(jìn)馬達(dá) | |
| 編碼器分辨率：0.5um | 分辨率：0.25um | ||
| 大掃描區(qū)域：350mm | 大行程：50mm | ||
| 夾具 | JEDEC標(biāo)準(zhǔn)尺寸托盤夾具 | 脈沖發(fā)生器 | DPR500 接收器配置L2/H4脈沖發(fā)生器 |
| 掃描平臺(tái)可固定*的托盤夾具 | 可選U4超高頻脈沖發(fā)生器 | ||
| 透射桿探頭固定 | 流體系統(tǒng) | 循環(huán)泵和5um過濾器 | |
| 注：ECHO LS是目前國內(nèi)使用廣泛的一款型號(hào) | |||
工藝過程監(jiān)測
合格/失效分選
專業(yè)認(rèn)證
SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類型的應(yīng)用和材料。
其它關(guān)鍵特點(diǎn)：
減少實(shí)驗(yàn)室空間(占地面積小)
鍵盤快捷鍵(方便移動(dòng)操作)
全焊接機(jī)身框架(促進(jìn)平臺(tái)穩(wěn)定性)
降低水槽高度(人體工程學(xué)設(shè)計(jì))
可同時(shí)進(jìn)行反射掃描和透射掃描
大 360 度可視
超大掃描面積
水槽底部傾斜(易于排干水)
探頭隨 Z 軸移動(dòng)(取代托盤上下移動(dòng))
可滑動(dòng)支架
符合歐洲機(jī)械指令
緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(低維護(hù))
符合 CE,SEMI S2,NRTL
可滑動(dòng)的電氣面板(方便維護(hù))
防靜電涂層(安全罩、水槽、門等)
其它特色軟件功能選項(xiàng)
TAMI SCAN: 一次掃描得到多 200 張斷層圖像
ICEBERG: 強(qiáng)大的離線分析技術(shù)
WinIC Pro: 增加功能和分析
WinIC Offiline：遠(yuǎn)程分析
Waveform Simulator/Beam Emulator ：波形仿真器
ECHO 機(jī)臺(tái)面板與 WinIC 軟件的組合，給用戶提供一個(gè)強(qiáng)大、簡易使用的分析工具。WinIC 軟件是 Sonix 公司獨(dú)Jia研發(fā)的超聲波掃描顯示鏡成像軟件，提供良好的圖像分析功能以幫助定量和定性分析圖像數(shù)據(jù)。WinIC 使用大量的圖形和屏幕指導(dǎo)幫助所有用戶，從入門到精通。
SONIX 軟件優(yōu)勢
● 可編程掃描，自動(dòng)分析
定制掃描程序，一鍵開始掃描，自動(dòng)完成分析，生成數(shù)據(jù)
● FSF表面跟蹤線
樣品置于不平的情況下，自動(dòng)跟蹤平面，獲取同一層面圖片
● ICEBERG離線分析
存儲(chǔ)數(shù)據(jù)后，可在個(gè)人電腦上進(jìn)行再次分析
● TAMI斷層顯微成象掃描
無需精確選擇波形，可任意設(shè)定掃描深度及等分厚度，一次掃描可獲得200張圖片，快速完成分析。
SONIX 軟件 - 應(yīng)用于塑封FlipChip和Stacked Die產(chǎn)品的成像功能
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