HLCVD六溫區(qū)真空管式爐有效尺寸直徑50*溫區(qū)200*200*200*200*200*200
長期使用溫度200-1100℃溫度1200℃溫控30段智能溫控， 控制 自動升溫，自動降溫，
殼體設計電爐殼體采用雙層強制風冷構造，使電爐在溫度工作時爐殼外部溫度接近室溫
可通氣體所有惰性氣體 混合性氣體 氮氣 氧氣 水蒸氣等……
升溫速率≤0~ 20.C/ min

HLCVD六溫區(qū)真空管式爐直徑50*溫區(qū)200*200*200*200*200*200長期使用溫度200-1100℃溫度1200℃溫控30段智能溫控， 控制 自動升溫，自動降溫，殼體設計電爐殼體采用雙層強制風冷構造，使電爐在溫度工作時爐殼外部溫度接近室溫可通氣體有惰性氣體 混合性氣體 氮氣  氧氣 水蒸氣等……升溫速率≤0~ 20.C/ min溫控安全電爐采用集成化電路，模塊控制、雙回路保護（偏溫保護、超高溫保護、斷偶保護、超流保護、超壓保護）控溫度±1℃爐溫均勻性≤±5真空泵機械泵爐膛材質高密度氧化鋁陶瓷纖維爐膛設計爐膛采用臺階式拼裝結構，融合了力學定律，有效的保證了爐膛在加熱過程中受力均勻，保障了熱能不易散失，延長了爐膛的使用壽命。CVD六溫區(qū)真空管式爐:平行式可開啟設計,分六個溫區(qū)每個溫區(qū)各200mm  管徑直徑為：50mm。每個溫區(qū)可單獨控溫，加熱原料為進口電阻絲爐膛，容樣品材料為高純度石英管 耐腐蝕性好。長時間工作溫度可達1150℃ 兩端用304不透鋼法蘭1套，配置機械泵1臺，一套四路質子流量計。