數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

測(cè)量質(zhì)量流量

無(wú)需溫度和壓力補(bǔ)償

結(jié)構(gòu)緊湊

精度高

工作壓力高

響應(yīng)時(shí)間快

重復(fù)性高

數(shù)字式質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

量程范圍：5SCCM-1500SLPM

精度：±1%滿(mǎn)量程

量程比：50：1

重復(fù)性：<0.2%讀數(shù)

操作溫度：-10~50℃

泄露率：< 2 x 10-9mbar l/s He

預(yù)熱時(shí)間：標(biāo)準(zhǔn)30min

壓力等級(jí)：3MPa;10MPa

接液材質(zhì)：316L

密封材質(zhì)：標(biāo)準(zhǔn)Viton，可選EPDM、Kalrez

防護(hù)等級(jí)：IP40

供電電源：+15~24VDC

電流：70mA

模擬量輸出信號(hào)：0-5VDC；4-20mA；0-10VDC

數(shù)字輸出信號(hào)：無(wú)

電氣接口：標(biāo)準(zhǔn)DB9 M

過(guò)程接口尺寸：可選

數(shù)字式質(zhì)量流量控制器訂貨參數(shù)

氣體種類(lèi)

量程范圍（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下量程）

使用壓力

入口壓力

使用溫度

精度要求

輸出信號(hào)

過(guò)程接口尺寸