瑞士VAT閥07.7 大型真空傳輸門插件與L-VAT
在所有條件下均可靠 07.7 大型真空傳輸門插件與L-VAT為真空閘門設定了新標準。該閘 門旨在優化性能的三個關鍵方面:(1) 粒子排放保護,(2) 快速且可調節的循環周期以及 (3) 正常運行時間長,維 護工作快速且輕松。 在要求苛刻的應用中和不斷變化的工藝條件下,凸顯出性能特性。
07.7 傳輸門插件的設計專注于出色的粒子性能。該閘門在打開 和關閉時執行 L 型運動。閥門中每個有粒子釋放風險的部分均經過單獨封裝。比如,兩側的門導板采用聚四氟乙烯波 紋管封裝,壓梁的緊壓部件采用焊接金屬波紋管封裝,電纜 托架采用符合 IPA 潔凈室 1 級規范的聚四氟乙烯罩封裝。
即使打開和關閉的周期很短,也能讓閥門平滑地關閉,這是 07.7 傳輸門的重要特征。氣動驅動器的阻尼機構可 調整,以匹配不同的周速。這意味著 07.7 傳輸門能在關閉期間最大限度地減少沖擊,降低生成粒子的風險。此 外,側導板可確保閘門平滑地運動,以將振動幅度降至低。磁性位置指示器 (MPI) 用于指示閘門位置,以準確顯 示垂直位置和水平位置。07.7 傳輸門具有高性能大氣 閘門所需的一切特性。
正常運行時間長,維護量少,可輕松維護 維護停機時間不僅令人煩惱,還會增加本可 避免的成本,并且降低產量。07.7 傳輸門通過減少維護停機的時長和頻率,最大限度地 增加正常運行時間。簡化的閥板更換流程和 可輕松觸及的緊壓部件,僅這兩項設計特征 便可大幅減少維護工作。 此外,可根據工藝要求調節密封壓力,比如在 使用其他密封材料時進行調節。此外,集成墊 片可防止閥板密封件超壓,減少 O 型圈磨損 并通過延長免維護周期提高可用性。 07.7 大型真空傳輸門插件與L-VAT 的主要特點 所有可能排放粒子的部件均已封裝 執行 L 型運動 – 平滑且振動最少 垂直和水平位置的磁性位置指示器 優勢: 出色的粒子排放保護性能 短暫且可調節的循環周期 正常運行時間長,維護量少,可輕松維護 技術數據 尺寸
客戶 確認
驅動器
氣動 雙作用
饋通件
軸饋通件
泄漏率
氟橡膠閘封
< 1 × 10-7 mbar ls-1 閥板可承受壓差
關閉方向
≤ 1 bar 開啟方向 ≤ 5 mbar 打開時可承受壓差
≤ 5 mbar 首維護前開關次數
100 萬次(在未加熱且清潔的條件下)
溫度
閥板處
≤ 60 °C 氣動驅動器
≤ 80 °C 電磁閥
≤ 50 °C 打開/關閉時間(標準版本)
開啟高度≤ 250 mm < 3 s / < 3 s 開啟高度 > 250 mm 視尺寸而定 材料
鋁閥板
EN AW-5083 硬質陽極氧化鋁(可選)
EN AW-5083 不銹鋼閥板(可選)
AISI 304 (1.4301), AISI 316L (1.4404) 側導板(軸)
100 Cr6 (1.3505)、硬鍍鉻型
密封
閥板
氟橡膠
驅動器、壓板
丁腈橡膠和氟橡膠
安裝位置
驅動器朝下(可選:向上/側向)
電磁閥
五/三向、靜態信號
位置指示器:觸點額定值(PNP 類型)
電壓
10 – 30 VDC 電流 ≤ 200 mA 響應時間
≤ 0.1 毫秒 安全等級
IP 67 閥門位置指示
視覺(機械)
瑞士VAT閥07.7 大型真空傳輸門插件與L-VAT