基本概述

簡介

真空泵是種旋轉式變容，真空泵須有前泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內有較大的抽速，對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化、食品、電子鍍膜等行業。

發展

真空泵包括水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，目前這些泵是我民經濟各行業應用真空過程中*的主力泵種。近年來，伴隨著我經濟持續速發展，真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用域不斷拓展等因素的共同拉動下，我真空泵行業實現了持續穩定地發展。

據《2013-2017年中真空泵制行業深度調研與投資預測分析報告》[1]數據顯示，在我真空泵市場上，外企業的入與成已成為不可爭辯的事實，日本真空各地布點，德萊寶在中擴建，美泰悉爾集團、韓優成等際廠家也紛紛尋找伙伴在中建制基地。他們的胃口很大，勢有鯨吞真空泵市場之勢。近年來，內雖然有些企業逐漸崛起，在真空泵市場上占據了較為的地位，但是多數企業研發能力差，與外同行相比，產品在上仍處于劣勢。

真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我民經濟各行業應用真空過程中*的主力泵種。近 年來， 伴隨著我經濟持續速發展，真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用域不斷拓展等因素的共同拉動下，我真空泵行業實現了持續穩定地快速的發展。

真空干燥箱對于所烘的物料是有要求的，其是不能含有大量的水，其二是不能含有有機化合物;二者在抽真空的同事會被泵抽體內，從而產生系列的不良反應，影響泵的使用壽命。如果物料含水或者是有機溶劑，得加液態水過濾器和冷凝器，起到個過濾的作用。我們在使用真空干燥箱的同時， 也定要加強對于真空泵的維護，及時給真空泵換油，延長它的使用壽命。《中真空泵制行業深度調研與投資預測分析報告前瞻》分析顯示：干式真空泵目前在內仍處于起步階段，產替代口將會成為日后的趨勢。干式真空泵對于制程的良率會產生較大的效果。干泵替代現有的水泵、油泵也是個趨勢。

現狀

真空泵是個量大面廣的產品，產量很大，產值不，但它確實是個直接影響到真空成套設備性能質量的*的基礎產品。真空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體業的迅速發展以及干泵和分子泵應用域的日益擴大。

目前，真空泵市場的年銷售額約20億美元，年增長率在7%左右。

我真空泵的廠家很多，真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右，僅相當于美家公司真空泵的年銷售額。通過對真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應用域都在不斷變化和發展。我真空泵制業有著悠久的歷史和雄厚的基礎，產真空泵已經在各個不同域得到應用并經過驗證，有些泵還出口外，得到外用戶的認可并受到好評，應該說我真空泵制業在內外市場仍然有著巨大的發展空間。

前瞻產業研究院發布的《真空泵項目投資價值分析報告》從市場狀況、發展現狀等方面分析了真空泵在內的現狀及前景。

點

(1)在較寬的壓力范圍內有較大的抽速；

(2)轉子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉平穩。轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅動率，從而可實現較轉速；

(3)泵腔內用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；

(4)泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

(5)壓縮低，對氫氣抽氣效果差；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，和檢查困難。

結構

（1） 泵總體結構型式

真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。

立式結構的、排氣口水平設置，裝配和連接管路都方便。但泵的重心較，在速運轉時穩定性差，故這種型式多用于小泵。

臥式泵的氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道端外，另端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低，速運轉時穩定性好。般大、中型泵多采用此種結構。

泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構裝配間隙容易控制，轉子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較且齒輪拆裝不便，潤滑機構也相對復雜。

（2） 泵的傳動方式

真空泵的兩個轉子是通過對度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種：其是電動機與齒輪放在轉子的同側如圖。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉子軸的扭轉變形小，則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變，故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。這種傳動方式的zui大缺點是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的和裝配難度，齒輪的拆裝及調整也不便；b.整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱側。

真空泵分類

液環泵

雖然液環泵屬于粗真空泵，但在中的石油、化、電力、輕紡、紙、藥等域仍然有著很大的市場。液環泵作原理在外，液環泵的銷售額占真空泵市場的14%，僅次于干泵，由于液環泵大分是鑄件，要求也不，屬勞動密集型產品，所以產液環泵在價格上有競爭優勢，關鍵是要改，縮小體積，減輕重量，提率，降低能耗。

滑閥泵

由于滑閥泵耐用、可靠，內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前泵，滑閥泵作原理但是滑閥泵鑄件重，作量較大，所以外各真空廠都在中尋找合作伙伴。為了使產滑閥泵能夠入際市場，步降低泵的振動噪聲，杜噴油和漏油，提滑閥泵長期運行的可靠性。

直聯旋片泵

隨著真空在各個應用域的不斷擴大，直聯旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數量很多，裝配作量很大，價格又很低，所以有的外真空廠商在中建立業廠。產中小型直聯旋片泵在上已經過關，價格又遠比外的泵便宜，所以產泵仍然有競爭優勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題，確保直聯泵在速、溫下性能穩定和運行可靠，同時還要步提產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。

羅茨泵

從外羅茨泵情況來看，外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcal、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產量不大，但外羅茨泵羅茨泵作原理的價格遠比產泵要得多。內外幾乎所有大型或小型的真空和中真空系統，為了縮短抽氣時間、提效率都配有羅茨泵，所以產羅茨泵定要在占內市場基礎上設法入際市場，這樣就步降低產羅茨泵的振動噪聲，*解決軸封漏油問題，改泵的外觀質量，提泵內的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些家和地區的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提轉速的情況下長期運行的可靠性。

內氣冷式直排大氣羅茨泵展很快，上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同限真空度的要求，這種泵可以串聯使用，般前面加臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的限真空要比前泵個數量。這種泵由于在泵腔內沒有作介質，實際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應該在內大力推廣和應用。

影響因素

1、對作蒸汽及其干度的研究：

蒸汽壓力偏低及壓力波動均對真空泵的能力有較大影響,因此蒸汽壓力不應低于要求的作壓力,但所用真空泵結構已定型,過多提蒸汽壓力并不會增加抽氣量及真空度。另外,要確保鍋爐供給的蒸汽壓力穩定,用臺鍋爐門給蒸汽噴射泵提供作蒸汽,這樣蒸汽壓力就不會出現波動,真空泵性能穩定。

2、對循環冷卻水要求的研究：

冷卻水供量不足,冷凝器會發熱,氣聲音變大,真空度迅速下降,甚至蒸汽會返入抽氣管。冷凝水在多真空泵中具有舉足輕重的作用，冷凝水可以將蒸汽充沛冷凝，真空泵排出壓力中的水蒸汽分壓有于其所對應的飽滿蒸汽壓，因此冷凝水的溫度也要低于該壓力下的飽滿溫度，才能保證泵體的正常作業。

3、對真空泵系統密封要求的研究：

真空泵處于限狀態時,1排出的水很少,有時甚至沒有。因此,1泵有大量水排出,可以認為是系統有泄漏。通常的漏氣原因有:墊片沒裝、裝錯或損壞,螺栓未擰緊,法蘭面損壞,焊縫有沙眼,接頭（壓力表、真空表等）未裝好。

4、對噴嘴要求的研究：

噴嘴是影響真空泵性能的重要件,存在的問題有:噴嘴裝錯、裝歪、堵塞、損壞、腐蝕和泄漏,不管采取何種預防措施,噴嘴的堵塞在所難免。方面由于安裝蒸汽管道時,管道中殘存的鐵屑及焊渣會堵塞噴嘴;另方面,真空泵系統停用時,蒸汽管道易生銹,銹斑在使用時掉落堵塞噴嘴。

5、蒸汽的影響：

我們常用的真空泵為蒸汽噴發真空泵，是以過飽滿水蒸汽為作業介質的，蒸汽的狀況對泵的能有決定性的影響。濕蒸汽不只影響泵的能，還會腐蝕蒸汽噴嘴，添加泵的蒸汽用量，使泵的作業狀況變得不穩定。

6、環境的影響：

環境的影響主要是被抽氣體對體系的污染，在鋼液處置過程中，鋼液會放出很多的氣體，同時也會有分細微的氧化粉皮等小顆粒被吸入真空泵，這些小顆粒會堆積粘附在泵體上，減小了抽氣管路導，延長了抽氣時間，下降了泵的抽氣能。

7、泵體布局的影響：

關于單真空泵，簡單磨損的位是蒸汽的噴嘴，噴嘴被磨損后，不只會影響泵的能，還會增加體系的運轉本錢。