安裝條件

1、使用環境溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh；

2、設備供電：AC220V，50Hz，必須有良好接地；

3、額定功率：1500w；

4、設備用氣：設備腔室內需充注氬氣清洗，需客戶自備氬氣，純度 ≥99.99%；

5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 50kg 以上；

6、擺放位置要求通風。

技術參數

1、 蒸發源數量：1鎢絲籃/鎢舟

2、 適用蒸發膜料：金銀銅等不易被氧化的金屬，碳繩；

3、 等離子濺射靶數量：1x2”

4、 適用靶材：金銀銅等比重大，化學性質穩定的金屬；適用尺寸φ50mm x3mm

5、 蒸發源電壓：10V

6、 蒸發電流 0～100A 連續可調

7、 配 1 個鎢舟、1 個鎢絲籃；

8、 不銹鋼樣品臺,直徑為60mm；蒸發時使用樣品臺下表面及配套夾具，濺射時使用樣品臺上表面，直接將樣品放置在平面上。

9、 樣品臺距離蒸發源距離20~50mm可調。當使用濺射功能時樣品臺應和靶面距離30mm~50mm。

10、 真空腔體為石英腔體其直徑為180mm，高度為150mm；

11、 真空腔體抽氣接口為 KF25；

12、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭，默認配不銹鋼微調閥以調節進氣量；

13、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏；

14、 可調節蒸發電流、濺射電流，可設置蒸發**電流值、**真空值；

15、 **保護：過流、真空過低自動切斷電流；

16、 極限真空：1Pa(搭配雙級旋片泵)；

17、 真空測量為電阻規真空計，其量程為：1～105Pa

注意事項

1、對于蒸鍍對氧較敏感的材料，建議增配分子泵組。

2、為了達到較高的無氧環境，至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗 3 次。

可選配件

膜厚監測儀

1、膜厚分辨率：0.0136?（鋁）

2、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置， 材料應力，溫度和密度

3、測量速度：100ms-1s/次，可設置測量范圍：500000?（鋁）

4、標準傳感器晶體：6MHz

5、適用晶片頻率：6MHz 適用晶片尺寸：Φ14mm 安裝法蘭：CF35

其他配件

1、鎢舟、鎢絲籃；

2、CY-CZK103系列高性能分子泵組（含復合真空計，測量范圍10-5Pa~105Pa）；

CY-GZK60系列小型分子泵組（含復合真空計，測量范圍10-5Pa~102Pa）

VRD-4雙極旋片真空泵；

3、KF25真空波紋管；長度可選0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架

4、膜厚儀晶振片；