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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>組裝與封裝設備>貼片機/粘片機> SB6/8 Gen2 晶圓貼片機

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SB6/8 Gen2 晶圓貼片機

具體成交價以合同協議為準

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公司主要銷售實驗室儀器儀表、實驗室儀器設備、散熱材料、增材制造設備、電氣設備、電子產品、通訊器材、機械配件、通訊器材、電腦軟硬件、機械配件、非標自動化設備、五金工具、實驗耗材和試劑(不含危險化學品)、激光儀器及輔助設備;

電氣設備、信息系統設計、集成;工程管理服務;單晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳納米管技術開發、技術轉讓和檢驗檢測服務;

計算機軟硬件及輔助設備、信息系統軟件、非標自動化設備的租賃和維修;

銷售醫療器械、文化辦公用品、五金交電、機械設備、監控設備、建筑材料、裝飾材料、辦公室用品;第二類醫療器械經營、第三類醫療器械經營;依托進口核心產品做研發:

團隊是由深圳大學從事材料,光學,生物團隊組成,目前核心創始人3位,分別負責材料,生物和光電領域,分別提供相應配套設施以及技術解決方案等;業務目前主要覆蓋東莞,深圳,惠州,廣州等整個廣東地區,可快速抵達廣東所在區域提供技術支持和服務。

目前典型服務客戶有:清華大學深圳國際研究生院,哈爾濱工業大學(深圳),南方科技大學,深圳大學,深圳技術大學,北京大學深圳研究生院,松山湖材料實驗室,大灣區大學(籌),東莞理工學院,中山大學,暨南大學,華南理工大學,廣東工業大學等

純水機,離心機,旋轉蒸發儀,光譜儀,質譜儀,頻譜儀,示波器,掃描電子顯微鏡,電化學工作站,,流式細胞儀,手套箱,磁控濺射

SB6/8 Gen2 晶圓貼片機

一、晶圓鍵合工藝的設備

SUSS MicroTec 公司的 SB6/8e 提供一種適合各種鍵合工藝的半自動平臺。SB6/8e 可以處理200毫米以下各種形狀和類型的襯底和晶圓。因此,它是一個適合多種用途和工藝環境的靈活工具。應用領域包括,MEMS、LED 中的封裝及結構塑造、封裝、2.5D和3D集成。

SB6/8e 從研究開發、到批量生產,再到最后的大規模生產都簡單明了。

二、在鍵合室溫度、鍵合力和空氣壓力的配置上有廣闊的自由度,這大大增加了應用的選擇范圍。此外,還能調整工藝以適應不斷變化的工藝條件。

與 SUSS 鍵合對準器套裝組合后,SB6/8e 還能進行高精度預鍵合對準

三、詳細情況 :

1.安全裝載晶圓:

防止用戶直接接觸壓力室

防止顆粒進入,打造無污染的工藝環境

2.工藝參數:


鍵合力可達 20 kN

溫度可達 550°C

精確的溫度控制 (< 1 %) 和高度的均勻性 (± 2 %)

對所有鍵合參數工藝方案(工藝指導)的強大控制

快速加熱和主動冷卻,以減少通行時間

3.臨時晶圓鍵合:

為降低薄晶圓處理 的風險,晶圓在減薄之前應預先置于晶圓載體上。 這種鍵合僅用于接下來的加工步驟 - 完成晶圓加工后會解除鍵合。

4.臨時鍵合的必要步驟:

涂覆剝離層(涂層 或 等離子體活化)

涂覆粘材

鍵合

熱固化或紫外線固化

5.SUSS MicroTec 公司的開放平臺兼容臨時鍵合的所有常見材料系統。 除了已用于生產的工藝外,SUSS MicroTec 公司還在不斷的鑒定更多材料,以便范圍的支持市場上可供選擇的粘材。

6.我們的客戶將受益于:

開放的、可靈活配置的鍵合平臺,支持所有常用粘材和工藝

在一臺設備中涂覆粘接層和剝離層,以及臨時鍵合

測量晶圓厚度和厚度變化(TTV)的集成測量系統

7.膠黏鍵合:這種使用聚合物和膠黏劑的鍵合方法可用于許多種材料,如環氧材料、干性薄膜、BCB、聚酰亞胺及可紫外固化的化合物。

8.陽極鍵合:在陽極鍵合方法中部件被離子化玻璃封裝在晶圓上。 通過三層疊層鍵合技術可同時連接三層(玻璃-硅-玻璃),這提高了它的性能和產率。

9.共晶鍵合:熱鍵合是指兩個平面基板自發粘合。 該工藝包括沖洗拋光盤,使其具備高度親水性,然后使其相互接觸并在高溫下回火。 等離子體預處理工藝可使基板在室溫條件下鍵合。

10.熱鍵合:熱鍵合是指兩個平面基板自發粘合。 該工藝包括沖洗拋光盤,使其具備高度親水性,然后使其相互接觸并在高溫下回火。 等離子體預處理工藝可使基板在室溫條件下鍵合。

11.玻璃漿料鍵合:在此種方法中,通過網印將玻璃漿料涂在鍵合面上。 熔化所產生的結構并接觸第二個襯底。 冷卻后會形成穩定的機械性連接。

12.脈沖電流接合:

脈沖電流粘接(ICB)結合了陽極粘接的堅固性和其他更復雜的粘接方法的材料多樣性。它允許具有不同熱膨脹系數的材料--如玻璃與金屬、半金屬和陶瓷--的結合,以及無堿場輔助的結合。與陽極粘接相比,脈沖電流在材料界面引起更高的原子間擴散,從而在較低的溫度和較短的加工時間內形成牢固和持久的粘接。在粘合過程中,異種材料對的熱膨脹較低,誘發的應力較小,從而避免了產品的變形或彎曲。








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