SEM5000X 超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
- 公司名稱(chēng) 國(guó)儀量子技術(shù)(合肥)股份有限公司
- 品牌 國(guó)儀量子
- 型號(hào) SEM5000X
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/17 15:46:36
- 訪問(wèn)次數(shù) 2984
高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SEM5000X場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡掃描電鏡肖特基場(chǎng)發(fā)射
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EPR電子順磁共振波譜儀、SEM掃描電子顯微鏡、比表面及孔徑分析儀、高溫高壓吸附儀、金剛石量子計(jì)算機(jī)、任意波形發(fā)生器、數(shù)字延時(shí)脈沖發(fā)生器、鎖相放大器
產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 儀器種類(lèi) | 熱場(chǎng)發(fā)射 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,石油,能源,電子,制藥 |
超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
SEM5000X是一款超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級(jí),實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計(jì)的樣品倉(cāng),擴(kuò)展接口增加至16個(gè),快速換樣倉(cāng)最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級(jí)掃描模式和自動(dòng)功能增強(qiáng),帶來(lái)了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
•超高分辨率成像,達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV
•樣品臺(tái)減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù),挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場(chǎng)景
•高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺(tái)、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計(jì),可搭配整體罩殼設(shè)計(jì),極大減弱環(huán)境對(duì)極限分辨率的影響
•最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉(cāng),滿(mǎn)足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求
應(yīng)用案例
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