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SF-3 分光干渉式晶圓膜厚儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 大塚電子(蘇州)有限公司
  • 品牌 OTSUKA/日本大塚
  • 型號(hào) SF-3
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2020/6/12 16:11:24
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1327

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      大塚電子(蘇州)有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評(píng)價(jià)·檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源·照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評(píng)價(jià)·檢查。

  以高速·高精度·高可靠性且有市場(chǎng)實(shí)際應(yīng)用的分光器MCPD系列為基礎(chǔ), 在中國(guó)的顯示器 市場(chǎng)上有著20年以上銷售實(shí)例, 為許多廠家在研究開發(fā)、生產(chǎn)部門所使用。并且在光源·照明 相關(guān)方面,對(duì)研究機(jī)構(gòu)、各個(gè)廠家的銷售量在逐步擴(kuò)大。

  在中國(guó)的蘇州有設(shè)立售后服務(wù)點(diǎn),為了能迅速且周到的為顧客服務(wù)而努力。

  我公司的母公司日本大塚電子集團(tuán),隸屬于大冢集團(tuán), 一直以來(lái)都謹(jǐn)守大冢集團(tuán) 的企業(yè)理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢為人類的健康創(chuàng)造革新的產(chǎn)品),不斷的推出創(chuàng)新產(chǎn)品,面向開展業(yè)務(wù),為社會(huì)作出貢獻(xiàn)。

 

zeta電位?粒徑?分子量測(cè)量系統(tǒng),晶圓在線測(cè)厚系統(tǒng),線掃描膜厚儀,顯微分光膜厚儀,線掃描膜厚儀,分光干涉式晶圓膜厚儀,相位差膜?光學(xué)材料檢測(cè)設(shè)備,非接觸光學(xué)膜厚儀,小角激光散射儀,多檢體納米粒徑量測(cè)系統(tǒng),量子效率測(cè)量系統(tǒng)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,印刷包裝,電氣

分光干渉式晶圓膜厚儀

 item_0010SF-3_bg.jpg

分光干渉式晶圓膜厚儀即時(shí)檢測(cè)
WAFER基板于研磨制程中的膜厚
玻璃基板于減薄制程中的厚度變化
(強(qiáng)酸環(huán)境中)

 

產(chǎn)品特色

  • 非接觸式、非破壞性光學(xué)式膜厚檢測(cè)
  • 采用分光干涉法實(shí)現(xiàn)高度檢測(cè)再現(xiàn)性
  • 可進(jìn)行高速的即時(shí)研磨檢測(cè)
  • 可穿越保護(hù)膜、觀景窗等中間層的檢測(cè)
  • 可對(duì)應(yīng)長(zhǎng)工作距離、且容易安裝于產(chǎn)線或者設(shè)備中
  • 體積小、省空間、設(shè)備安裝簡(jiǎn)易
  • 可對(duì)應(yīng)線上檢測(cè)的外部信號(hào)觸發(fā)需求
  • 采用適合于膜厚檢測(cè)的獨(dú)自解析演算法。
  • 可自動(dòng)進(jìn)行膜厚分布制圖(選配項(xiàng)目)

規(guī)格式樣

 

SF-3

膜厚測(cè)量范圍

0.1 μm ~ 1600 μm※1

膜厚精度

±0.1% 以下

重復(fù)精度

0.001% 以下

測(cè)量時(shí)間

10msec 以下

測(cè)量光源

半導(dǎo)體光源

測(cè)量口徑

Φ27μm※2

WD

3 mm ~ 200 mm

測(cè)量時(shí)間

10msec 以下

※1 隨光譜儀種類不同,厚度測(cè)量范圍不同
※2 小Φ6μm

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