特點：

• 原子層量級的*靈敏度

  *的采樣方法、高穩(wěn)定的核心器件、高質(zhì)量的制造工藝實現(xiàn)并保證了能夠測量原子層量級的極薄納米薄膜，膜厚精度達到0.01nm，折射率精度達到0.0001。

• 百毫秒量級的快速測量

  多入射角激光橢偏儀水準的儀器設計，在保證*精度和準確度的同時，可在幾百毫秒內(nèi)快速完成一次測量，可滿足單原子膜層生長的實時測量。

• 簡單方便的儀器操作

  多入射角激光橢偏儀用戶只需一個按鈕即可完成復雜的材料測量和分析過程，數(shù)據(jù)一鍵導出。豐富的模型庫、材料庫方便用戶進行高級測量設置。

應用：

• EMPro適合于高精度要求的科研和工業(yè)產(chǎn)品環(huán)境中的新品研發(fā)或質(zhì)量控制。
• EMPro可用于測量單層或多層納米薄膜層構(gòu)樣品的薄膜厚度、折射率n及消光系數(shù)k；可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數(shù)k；可用于實時測量快速變化的納米薄膜的厚度、折射率n和消光系數(shù)k。
• EMPro可應用的納米薄膜領(lǐng)域包括：微電子、半導體、集成電路、顯示技術(shù)、太陽電池、光學薄膜、生命科學、化學、電化學、磁介質(zhì)存儲、平板顯示、聚合物及金屬表面處理等。可應用的塊狀材料領(lǐng)域包括：固體（金屬、半導體、介質(zhì)等），或液體（純凈物或混合物）。