ETSys-InLine 在線橢偏測量系統
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- 公司名稱 北京量拓科技有限公司-C
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2019/5/17 11:40:14
- 訪問次數 295
產品標簽
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| 產地類別 | 國產 |
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ETSys-InLine 在線橢偏測量系統是根據鍍膜機在線高精度測量要求，專門研發的橢偏測量系統，在此系統中，橢偏測量部件與鍍膜機集成為一體。
ETSys-InLine 在線橢偏測量系統可用于真空熱蒸發鍍膜機、離子濺射鍍膜機、原子層沉積鍍膜機等多種原理的鍍膜機。可在線測量光滑平面基底上的納米薄膜，包括單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數k；并可測量塊狀材料的折射率n和消光系數k。
ETSys-InLine 融合量拓科技在高精度激光橢偏儀的*設計技術和橢偏產品制造方面的經驗，性能穩定、可靠。
特點:
快速在線鍍膜樣品測量
可對樣品進行快速在線監測，實時反饋鍍膜的真實信息。
系統可選的靈活配置
根據用戶實際檢測需求，可靈活選用激光橢偏儀、光譜橢偏儀部件等進行系統配置。
原子層量級的膜厚分析精度
采用非接觸、無破壞性的橢偏測量技術，對納米薄膜達到*的測量準確度和靈敏度，膜厚測量靈敏度可達到0.05nm。
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