大家對于美國MKS控制閥的特性與功能一定要知曉,接下來為大家講述一下要點,如述:
美國MKS控制閥的特性主要包括以下幾點:
精確控制:上游流量控制閥是比例控制閥,設計用于精確控制過程中上游的氣流。
減少污染和腐蝕:使用保證外部泄漏率小于1x10-10atmcc/sec(He)的金屬密封件以避免污染和腐蝕。
高溫運行能力:148高溫閥可在150°C的過程溫度下運行。
調節功能:當與MKS控制器和適當的流量傳感器一起使用時,248D閥門可調節氣體流量,同時保持準確和精確的壓力或流量。
易維護性:248D閥門的節流孔無需特殊工具即可輕松調節或更換。
廣泛的流量范圍:滿量程流量范圍為10-50,000標準立方厘米,最小可控流量根據不同情況分別為0.2%滿量程(小于100sccm)、0.1%滿量程(100至10,000sccm)和小于2%滿量程(大于10,000sccm)。
密封材料多樣性:提供多種密封材料選項,如Viton、氯丁橡膠、Buna-N或Kalrez,以適應不同的應用需求。
工作溫度范圍:工作溫度范圍為-10至60°,適應多種環境條件。
以上特性使得美國MKS控制閥成為半導體器件生產、平板顯示器、光學儲存介質、玻璃鍍膜、光電產品等生產設備及制藥和醫學成像設備的理想選擇。
美國MKS控制閥是一種精密的流量控制設備,主要用于半導體器件生產、平板顯示器、光學儲存介質等領域。
美國MKS控制閥的功能主要包括以下幾個方面:
精確控制氣流:MKS控制閥能夠精確控制過程中上游的氣流,這對于維持穩定的工藝環境至關重要。
減少污染和腐蝕:使用金屬密封件以避免污染和腐蝕,確保了產品的純凈度和延長了設備的使用壽命。
高溫運行能力:MKS高溫閥可在150°C的過程溫度下運行,適應了更廣泛的工業應用需求。
調節和更換便利性:MKS控制閥的節流孔無需特殊工具即可輕松調節或更換,這使得維護和調整變得更加便捷。
控制性能優化:通過兩個螺旋彈簧使電樞在閥體內居中并抵抗磁升力,最大限度地減少了摩擦和遲滯,從而優化了控制性能。
適應不同流量范圍:MKS控制閥提供了廣泛的流量范圍,能夠滿足不同工藝過程的需求。
與控制器的兼容性:MKS控制閥可以與適當的MKS控制器和壓力傳感閥連接,形成一個完整的控制系統。
綜上所述,美國MKS控制閥以其精確的流量控制、高溫運行能力和與控制器的良好兼容性等特點,在現代工業生產中發揮著重要作用。
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