激光面型干涉儀和白光干涉儀都是基于干涉原理的光學測量儀器，但它們在光源、干涉條紋、測量范圍、穩定性以及應用領域等方面存在顯著的差異。以下是對這兩種儀器的詳細比較：

一、光源

激光面型干涉儀：通常采用單頻、穩定輸出的激光器作為光源，如氦氖激光器，提供連續且波長已知的激光束。

白光干涉儀：使用白色光源，白光屬于多色光，具有連續的光譜。

二、干涉條紋

激光面型干涉儀：由于激光的單色性好，相干性強，因此干涉時主要形成黑白的干涉條紋。

白光干涉儀：由于光源包含多種波長的光波，干涉時會形成彩色的干涉條紋。

三、測量范圍與精度

激光面型干涉儀：激光具有高強度和相干性好的特點，因此激光面型干涉儀可以用于高精度的微小尺寸測量，如納米級的薄膜厚度測量和平面度測量。

白光干涉儀：白光干涉儀則更加適合于表面形貌的大范圍測量，如飛機發動機葉片的表面形貌測量、飛機機身的表面平整度檢測等。同時，白光干涉儀也能提供較高的測量精度，但相對于激光面型干涉儀，其測量范圍更廣。

四、穩定性

激光面型干涉儀：激光干涉儀在干涉時需要保持激光光源的穩定性，以保證干涉條紋的清晰度。因此，激光面型干涉儀對光源的穩定性要求較高。

白光干涉儀：相對于激光面型干涉儀，白光干涉儀對光源的穩定性要求不那么嚴格。

五、應用領域

激光面型干涉儀：主要用于光學元件和平面的平面度、平整度、厚度、微小位移等精密幾何參數的測量。廣泛應用于光學元件制造業、精密機械加工、半導體工業、航空航天等領域。

白光干涉儀：除了可以用于測量物體表面形貌、薄膜厚度等參數外，還可以用于材料科學、生物醫學等領域的研究。如細胞及組織的三維重建、血液流動速度的測量等。

綜上所述，激光面型干涉儀和白光干涉儀在光源、干涉條紋、測量范圍與精度、穩定性以及應用領域等方面存在顯著差異。選擇哪種儀器取決于具體的測量需求和應用場景。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實時”動態/靜態 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統白光干涉操作復雜的問題，實現一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現優秀的重復性表現。

2)系統集成CST連續掃描技術，Z向測量范圍高達100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復雜形貌測量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測振系統，實現實現“動態”3D輪廓測量。

實際案例

1，優于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

2，毫米級視野，實現5nm-有機油膜厚度掃描

3，優秀的“高深寬比”測量能力，實現光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。