使用氦氣的泄漏測試方法

選擇測試方法的示例

每種測試方法的特點

此外，還提供氦氣混合器和氦氣回收裝置，以降低運行成本，因此請單獨與我們聯系。
我們將根據初始成本和運行成本提出建議。

真空法

測試方法	真空噴涂法	真空罩法
檢漏精度	1E - 09 帕·米3/sec 或更高	1E - 09 帕·米3/sec 或更高
整體測量	×	○
泄漏位置	○	×
自動化	△	○
初期成本	○	△
運行成本	△	△
維護成本	△	△
受影響的產品	LDS3000

加壓方式

測試 方法	真空 Bellger 法	轟炸方式	嗅探器	加壓集成方式
泄漏檢測 精度	1E-07帕米3 /sec 或更高	1E-09Pa?m3 /sec 或更高	1E-06帕米3 /sec 或更高	1E-05帕米3 /sec 或更高
整體測量	○	○	×	○
泄漏位置識別	×	×	○	×
自動化	○	○	△	○
初期 成本	×	○	○	△
運行 成本	×	△	×	×
維護成本	×	×	△	△
受影響的產品	LDS3000		P3000（XL） 系列	LDS3000AQ

測試方法詳細信息

真空法

真空噴涂法

真空罩法

加壓方式

嗅探器

真空鐘罩法

加壓集成方式

轟炸方式

泄漏測試設備 加壓積分法

加壓積分法電路配置

氦氣檢漏儀 LDS3000AQ 電路配置

氦氣檢測傳感器原理

180° 磁場脫毛質譜儀

1. 進入LDS3000AQ的氦氣通過渦輪分子泵的反向擴散現象到達分析管。

2. 到達分析儀的分子被細絲的電子轉化為 + 離子，由于加速電壓，它們沿 - 方向移動。

3. + 當離子通過磁場時，軌道根據氣體的質量進行劃分。

4. 只有帶有 + 離子的氦氣到達離子收集器，并被前置放大器放大為電流進行測量。

泄漏檢測設備 真空鐘罩法

真空鐘罩式反應法電路配置

氦氣檢測器 LDS3000 電路配置

氦氣檢測原理

180° 磁場脫毛質譜儀

1. 進入LDS3000的氦氣通過渦輪分子泵的反向擴散現象到達分析管。

2. 到達分析儀的分子被細絲的電子轉化為 + 離子，由于加速電壓，它們沿 - 方向移動。

3. + 當離子通過磁場時，軌道根據氣體的質量進行劃分。

4. 只有帶有 + 離子的氦氣到達離子收集器，并被前置放大器放大為電流進行測量。