晶圓測試需要準(zhǔn)確識別晶圓位置以及對小電路和設(shè)備的評估和檢查。鏡頭在高放大倍率時被放大,并提供廣泛的視野,提供詳細(xì)的檢查和有效的晶圓覆蓋范圍。鏡頭必須具有高分辨率,以檢測晶片上的細(xì)模式和缺陷。高質(zhì)量的光學(xué)設(shè)計(jì)和光學(xué)材料共同實(shí)現(xiàn)高分辨率。晶圓測試需要對大量晶圓的高速檢查。鏡頭支持高速圖像采集,并有助于高速數(shù)據(jù)處理。這會提高生產(chǎn)率和吞吐量。此外,有必要在適當(dāng)且柔性的各種晶片下觀察晶圓。鏡頭具有照明控制功能,并提供均勻的照明,以確保準(zhǔn)確的檢查結(jié)果。由于晶圓測試需要連續(xù)操作,因此鏡頭需要高可靠性和耐用性。耐用的光學(xué)材料,涂料和健壯的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可在很長一段時間內(nèi)提供穩(wěn)定的性能。
推薦的鏡頭:
MML-NIR系列
MML-HR系列
定制鏡頭
DICING設(shè)備
DICING設(shè)備需要高位置精度和匹配的鏡頭分辨率,以便在晶圓上準(zhǔn)確切割電路和設(shè)備。這些鏡頭準(zhǔn)確地顯示出精細(xì)的圖案和線條寬度,并用于實(shí)現(xiàn)高精度折磨。挖掘過程通常是連續(xù)進(jìn)行的,并且鏡頭需要很高的耐用性。防水,耐化學(xué),耐磨的光學(xué)材料和涂料以及穩(wěn)健的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可長期提供穩(wěn)定的性能。重要的是選擇適當(dāng)且靈活的照明條件以適應(yīng)各種晶圓。鏡頭具有照明控制,并提供均勻的照明,以進(jìn)行精確的劃分。此外,鏡頭可用于滿足特定的切割要求,以滿足特殊的切割要求。例如,切割各向異性或極其硬的材料時,可能需要特殊的鏡頭設(shè)計(jì)和材料。從可見的到近紅外區(qū)域,有必要容納各種波長。
推薦的鏡頭:
MML-NIR
SWIR
定制鏡頭
粘結(jié)設(shè)備
粘結(jié)設(shè)備需要精確定位小零件和芯片。光學(xué)鏡頭達(dá)到高定位精度,可以通過觀察零件的精細(xì)特征來準(zhǔn)確對齊。光學(xué)鏡頭具有很高的放大倍率和高分辨率,使您可以清楚地看到小特征和缺陷。均勻的照明在粘結(jié)過程中很重要。遠(yuǎn)程鏡頭均勻地從光源收集光,從而在觀察到的物體表面上提供了均勻的照明。這允許準(zhǔn)確觀察和定位。粘結(jié)設(shè)備通常在連續(xù)的,嚴(yán)格的振動環(huán)境中操作,因此光學(xué)鏡頭需要高可靠性和耐用性。耐用的光學(xué)材料,涂料和健壯的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可在很長一段時間內(nèi)提供穩(wěn)定的性能。由于最近對高密度的需求,翻轉(zhuǎn)芯片鍵合取代了傳統(tǒng)的電線粘結(jié)。翻轉(zhuǎn)芯片鍵合允許將芯片直接粘合到板上,從而導(dǎo)致縮短接線長度并提高信號速度。 3D鍵合使用更高的密度互連技術(shù)。在一種稱為TSV(通過Silicon Via)的技術(shù)中,在芯片內(nèi)部創(chuàng)建了精細(xì)的垂直連接孔,并層壓多個芯片以將它們連接起來。這允許高速,高密度數(shù)據(jù)傳輸和多個功能集成。為了提高最新的3D鍵合精度,精細(xì)零件和芯片的定位精度很重要,但是光學(xué)系統(tǒng)的失真和錯位可能會影響準(zhǔn)確的定位。通過結(jié)合Moritex的獨(dú)的特光學(xué)設(shè)計(jì)和對齊技術(shù),我們觀察到各種材料和結(jié)構(gòu)的特征,覆蓋所選數(shù)字的波長,并評估不同的材料和零件。通過將激光聚焦,多光譜成像結(jié)合使用,該成像使用不同波長的光觀察對象,白色干擾技術(shù)和共聚焦觀察鏡技術(shù),我們可以提供針對每個粘結(jié)過程量身定制的最佳光學(xué)系統(tǒng)。
推薦的鏡頭:
MML-HR
MML-SR
定制鏡頭
表面安裝裝置
表面安裝設(shè)備需要準(zhǔn)確的定位和精細(xì)組件和板的連接。光學(xué)鏡頭可提供高分辨率,并允許您清楚地觀察小型特征和圖案。必須一次處理多個零件和底物,并且光學(xué)鏡頭在所有區(qū)域都具有廣泛的視野和均勻的光學(xué)性能,從而可以一次觀察到廣泛的區(qū)域。這增加了處理多個組件和板的效率。由于觀察到廣泛的視野,并立即進(jìn)行大量圖像處理,因此重要的是要使光照射到零件和底物的光均勻分布。 Moritex獨(dú)的特的同軸照明設(shè)計(jì)技術(shù)突出了受試者表面的精細(xì)特征和結(jié)構(gòu),從而可以高度對比度,并可以清楚地觀察到對該主題的不平衡和小圖案,從而可以觀察到精確的觀察。這允許有效的零件定位,設(shè)備觸覺時間將在工廠中。表面安裝設(shè)備還需要長壽和環(huán)境抵抗力,并且光學(xué)鏡頭的穩(wěn)健結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以承受長時間的使用和惡劣的環(huán)境條件。
推薦的鏡頭:
MML-HR
MML-SR
定制鏡頭
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