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8921SC13型美國BIRD油電射頻終止載荷產品介紹

來源:東莞市廣聯自動化科技有限公司   2025年02月14日 10:07  

  8921SC13型美國BIRD油電射頻終止載荷產品介紹如下:

為了最大限度地提高工藝的重復性和一致性,現代等離子體應用需要精確的射頻功率調節和控制。射頻發生器的校準、調節和監控是確保射頻電源準確、可重復地向腔室輸送射頻電源的關鍵組成部分。當使用像BAN4020系列這樣的精密功率傳感器時,VSWR目前提供超穩定、低VSWR負載,用于快速和精確地測量發電機輸出功率。8921SC13不僅提供低VSWR,而且在過程臨界頻率下,VSWR的總變化小于0.1分貝。由于校準時間不同,沒有必要進行負載熱身或重復性風險。這可以最小化與此校準相關的錯誤,并控制更關鍵的過程變量之一。

SC13系列,射頻終止圖

功率等級5千瓦頻率范圍及VSWR直流至28兆赫@最大1.1兆赫。

不足1.05:1阻擋物50 (nominal)Vswr穩定性0-100%的穩定頻率功率穩定頻率13.56兆赫+10千赫連接器"QC" Type LC (Female) - normally supplied互鎖熱開關-可選一般都是封閉的。在236℃(457華氏度)開放熱開關等級115伏,10a

230真空,5a溫度范圍操作: +5 to +40 °C (+41 to +104 °F)

儲存: – 40 to +45 °C (– 40 to +113 °F)高度1520 m (5000 ft.)潮濕95%不凝結最大值。冷卻法石油介質和對流電流尺寸32.8" x 9.5" x 26.9"

832x241x681毫米重量126 lbs.

57千克結束環氧樹脂

東莞市廣聯自動化科技有限公司專業供應進口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關、離合器、過濾器、濾芯、流量計、液位計、編碼器、伺服閥等產品。德國美國有公司,廠家一手貨源,詳請致電。

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