RTS-7型二探針測試儀應用

專用于測試半導體材料縱向電阻率的儀器，統計分析測試數據并生成縱向分布圖。    

電阻率測量范圍：0.00001～100000Ω·cm。    

此二探針測試儀主機的設計可以同時實現四探針測試方法，一機雙用。二探針測試儀加配四探針測試臺和四探針探頭，可以變成四探針測試儀使用,一臺儀器主機同時實現二探針和四探針測試方法。    

    RTS-7型二探針測試儀是運用二探針測量原理的多用途綜合測量設備，該儀器按照國家標準及美國材料與試驗協會（ASTM）SEMI MF397-1106（二探針法測定硅棒電阻率的標準方法）推薦的材料驗收檢測方法“兩探針法”，專用于測試半導體材料縱向電阻率的儀器。
    儀器由主機、測試臺、二探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。
     此二探針測試儀主機的設計可以同時實現四探針測試方法，一機雙用。二探針測試儀加配四探針測試臺和四探針探頭，可以變成四探針測試儀使用,一臺儀器主機同時實現二探針和四探針測試方法。
    儀器采用了最新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。本儀器適用于半導體材料廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
       

    RTS-7型二探針軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。
    測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析。    

點擊放大圖片

技　術　指　標 ：    

 測量范圍

    電阻率：0.00001～100000Ω.cm；    

恒流源

    電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調    

數字電壓表

    量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；    

二探針探頭基本指標

    間距：1.59mm（可按用戶測試需求選配其它間距二探針探頭）；
 針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
 機械游移率：≤0.2%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.86mm；
 探針壓力：3±1N/單針；    

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)

     0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字    

二探針測試架
（選配）

    配置T-2A測試架，兩端電極直徑20mm，最大長度300mm。
 配置T-2B測試架，兩端電極直徑50mm，最大長度300mm。
 (備注：其它尺寸測試架 可按用戶測試需求更改尺寸)。    

四探針測試臺和四探針探頭
（選配）

   此二探針測試儀主機的設計可以同時實現四探針測試方法，一機雙用。二探針測試儀加配四探針測試臺和四探針探頭，可以變成四探針測試儀使用,一臺儀器主機同時實現二探針和四探針測試方法。    

測試模式

    可連接電腦測試也可不連接電腦測試    

軟件功能
（選配）

   軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據，統計分析測試數據最大值、最小值、平均值、最大百分變化。并將測試數據生成縱向分布圖，也可把測試數據輸出到Excel中，對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。    

計算機通訊接口

    并口    

標準使用環境

    溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65%； 無高頻干擾； 無強光直射；