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氮氣流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調理閥門和擴大操控器等部分組成。其工作原理為：采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)，將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等，分流器決定主通道的流量。
在選型氮氣流量控制器時，需要考慮以下因素：
介質：明確測控的氣體種類，確認所選氮氣流量控制器是否可測控該氣體。
壓力：氣體質量流量控制器可測控的氣體通常為低壓氣體，壓力在2MPa以下。選型時需要確定入口壓力、出口壓力和工作壓差，并確保氣體質量流量控制器的最大工作壓力大于入口壓力，工作壓差在可選范圍內。
溫度：包括介質溫度和環境溫度。用戶需要明確被測介質的實際溫度和氮氣流量控制器所處的工作環境溫度。
流量：確定所需的最小流量和最大流量，并確保選型的氣體質量流量控制器的滿量程大于或等于最大流量，測控范圍覆蓋最小流量和最大流量之間的范圍。
精度：確認所需的精度數值，以及是設定值精度還是滿量程精度。
重復性：考慮在相同的測量條件下，對同一被測控的量進行連續多次測量所得結果之間的一致性。
通訊方式：確定通過何種通訊信號來操作氮氣流量控制器實現控制流量的目的，如模擬信號控制或數字信號控制。
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