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光學顯微鏡應用于電子半導體行業

來源:北京儀光科技有限公司   2024年10月28日 11:25  

什么是晶圓
半導體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱之為晶圓,在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構,而成為有特定電性功能的IC產品。

晶圓又叫wafer,由純硅(Si)構成,晶片就是基于這個wafer上生產出來的。wafer上的一個小塊,就是晶片晶圓體,學名die,封裝后就成為一個顆粒。 

晶圓的尺寸

最初晶圓的尺寸為2英寸,之后發展到4/6/8/12英寸。

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PCB是電子工業的重要部件之一

當前幾乎每種電子設備,小到計算器、電子手表,大到通訊電子設備、計算機、軍*武*系統,只要有電子元器件,為了它們之間的電氣互連,都要使用印制板。

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PCB在線路板制程中的應用

盲孔深度測量;通孔內壁形貌觀察;孔心距;銀線及焊腳觀察;孔邊緣錫大小檢測;常規器件引線焊點的檢驗等。

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平板顯示器FPD:玻璃上電極透明的話,從玻璃一側看過去,被擠壓的粒子會發白,會比原尺寸變大。電極不透明的話,看粒子被擠壓后留在電極上的壓痕,壓痕重的壓合有效。

有塑封時可以撕開FPC,看殘留在銅箔或玻璃電極上的粒子,或者使用帶矯正環物鏡,進行無損檢測。

徠卡光學顯微鏡應用于電子半導體行業:

1、Leica DVM6 :超景深顯微鏡下的不同世界,帶你領略鏡下之美

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產品特點:            

1) DVM6 超景深顯微鏡采用了1000萬物理像素攝像頭和APO復消色差物鏡,提供高質量成像效果。

2) 16:1光學變倍,可快速切換低倍和高倍觀察。可選配三個物鏡,進而實現從12X2350X的寬范圍觀察

3)對所有重要參數實現編碼記錄, 還原之前拍攝效果;

4)不僅可對樣品進行微觀觀察,還能進行二維三維等精準的數據測量。


DVM6數碼顯微鏡可廣泛應用在半導體、紡織、材料科學、醫療、新能源、電子等諸多行業。

半導體行業

在半導體行業,主要用于觀察芯片表面劃傷缺陷,同時可以測量凹槽深度。

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光伏板表面:觀察光伏板截面的涂層分布

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銀線表面:觀察銀線表面的缺陷劃痕

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導電粒子:觀察導電粒子的分布情況

 

電子行業

在電子行業中:可以觀察PCB版上的錫球焊接質量,并且可以測量錫球的直徑和盲孔,同時也能觀察液晶屏的劃傷,劃痕。

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PCBA板:觀察PCBA板上的錫珠

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液晶屏film層劃痕:觀察液晶屏劃痕及測量劃痕深度

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芯片宏觀:宏觀觀察芯片表面結構

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芯片微觀:觀察芯片內部結構

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印刷線路板金線:觀察印刷線路板金線走勢及有無斷裂殘缺導致不良的產生

2、Leica DM3XL、DM8000M、DM12000M 大平臺正置材料顯微鏡

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Leica DM3XL(看6寸晶圓)
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Leica DM8000M(看8寸晶圓)

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Leica DM12000M(看12寸晶圓)優點:

     1)具備UV和OUV觀察方式,并可快速切換

     2)采用斜照明模式,可實現高反差觀察

     3)采用內置式LED光源,色溫恒定在4000K

     4)采用復消色差光路設計,完善的色差校正

     5)選配電動掃描臺,可提高檢驗效率圖片

高分辨觀察方法 – 斜照明

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