鎖相紅外顯微成像系統(tǒng)的測(cè)量過程是通過調(diào)制施加的功率,利用數(shù)字鎖相算法來達(dá)到降低背景噪聲的目的。利用這個(gè)技術(shù),器件的失效點(diǎn)可以非常精準(zhǔn)地被定位出來。
鎖相紅外顯微成像系統(tǒng)的工作原理主要是通過調(diào)制施加的電流或電壓,利用數(shù)字鎖相算法或視頻鎖相算法來降低背景噪聲,從而準(zhǔn)確地定位出故障點(diǎn)。在IC通電情況下,系統(tǒng)利用高靈敏度的中(長(zhǎng)波)紅外探測(cè)器探測(cè)缺陷位置熱輻射的分布,以此來實(shí)現(xiàn)失效點(diǎn)的精確定位。
本公司提供的LUXET Thermo 50鎖相紅外顯微成像系統(tǒng)可以支持高達(dá)1000V的電壓輸出,覆蓋更多的測(cè)量需求。提供測(cè)量軟件,包含時(shí)域重構(gòu)、深度測(cè)量、圖像暫存、電壓-電流測(cè)量等功能。
鎖相紅外顯微成像系統(tǒng)作為一款電性故障定位設(shè)備,在半導(dǎo)體制造、工業(yè)檢測(cè)、IC產(chǎn)品設(shè)計(jì)等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。其高精度、非破壞性以及廣泛的應(yīng)用范圍使得該系統(tǒng)成為實(shí)驗(yàn)室研發(fā)、檢測(cè)以及電路失效分析領(lǐng)域的理想選擇。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和市場(chǎng)的不斷拓展,鎖相紅外顯微成像系統(tǒng)的應(yīng)用前景將更加廣闊。
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