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真空等離子清洗機是利用低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無機氣體（Ar2、N2、H2、O2等）在高頻低壓下被激發，產生含有離子，通過等離子體的“活性”組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的。在真空腔體里，給一組電極施以射頻電壓（頻率約為幾十兆赫茲），電極之間形成高頻交變電場，區域內氣體在交變電場的激蕩下，產生高能量的無序的等離子體，活性等離子對被清洗物進行表面物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質，經過抽真空排出，以達到清洗、活化、接枝等目的。
真空等離子清洗機技術優勢：
1）清洗對象經等離子處理后是干燥的，不需要再經干燥處理即可送往下一道工序；可以提高整個工藝流水線的處理效率；
2）采用無線電波范圍的高頻產生的等離子體的特點是方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成常規清洗不能達到的清洗任務，能很好處理難清洗部位。
3）等離子技術，不需要對清洗液的運輸、存儲、排放等處理措施，所以生產場地很容易保持清潔衛生，體現設備高度環保性
4）安全性能強，等離子清洗技術避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環保的綠色清洗方法，使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題
5）在真空等離子清洗技術還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應用中都是非常重要的。
6）真空等離子清洗技術不分處理對象，它可以處理各種各樣的材質，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部分清洗。
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