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ulvac冷陰極真空計的故障如何排除？
使用注意事項
如果放電開始不確定，多半是觸針內部被污染，需要清洗。
由于對陽極部分施加了高電壓，因此在通電期間必須小心。
由于測量氣體一般設置為氮氣，如果殘留氣體的主要成分不是氮氣，則顯示壓力與實際壓力不同。
由于電子發射根據電極的表面狀況而變化，因此指示壓力值也會因污垢等而變化。
故障檢查清單
1.電源開關“ON”后電源燈不亮
2.儀表不動
3.指示錯誤
4.擺動時儀表立即歸“0”
5.設定點信號不不出來
1.即使電源開關“ON”，電源燈也不亮
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 保險絲損壞 | ?更換 保險絲 ?如果更換保險絲后保險絲仍然熔斷，則需要修理。 |
| 電源線已拔下 | 檢查電源線連接 |
| 電源燈壞了 | 更換電源燈 |
| 電源電壓低于規格范圍 | 檢查電源電壓 |
2.儀表不擺動
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 探頭電纜斷開 | 探頭電纜的維修和更換 |
| 未連接的探頭電纜 | 關閉開關并拔出電源插頭后，重新連接電纜。 |
| 破表 | 儀表更換 |
| 觸針電極覆蓋有絕緣體。 | 清潔或更換探頭 |
3. 錯誤指令
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 高讀。如果你感到頭暈 | 探頭絕緣不良或電極變形→清潔或更換探頭 |
| 低讀數 | 探頭的電極部分被絕緣體覆蓋。 → 清潔或更換探頭。 |
4.儀表一擺動，就變成“0”
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 磁鐵的安裝位置錯位。 | 檢查磁鐵的安裝位置 |
| 超出測量范圍 | 檢查測量范圍 |
5. 無設定點信號
| 原因 | 解決方法 |
|---|---|
| 輸出繼電器故障 | 要求維修 |
| 小于繼電器觸點的最小工作電流 | 繼電器最小工作電流為10mA |
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