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橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。現在已被廣泛應用于材料、物理、化學、生物、醫藥等領域的研究、開發和制造過程中。
基本原理：
橢偏儀的原理主要依賴于光的偏振現象。當光線通過某些物質時，其偏振狀態會發生變化。橢偏儀利用這一特性，通過精確控制入射光的偏振態，并測量經過樣品后光的偏振態變化，進而分析樣品的性質。
橢偏法測量具有如下特點：
1.能測量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2個數量級。
2.是一種無損測量，不必特別制備樣品，也不損壞樣品，比其它精密方法：如稱重法、定量化學分析法簡便。
3.可同時測量膜的厚度、折射率以及吸收系數。因此可以作為分析工具使用。
4.對一些表面結構、表面過程和表面反應相當敏感。是研究表面物理的一種方法。
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