(1)型號規格:ENC -654
- 測量范圍:X=500mm,Y=600mm,Z=400mm
- 空間測量示值誤差:E≤3.5+L/250µm
- 分辨率:0.5µm
- 大移動速度:430mm/s
- 大承受重量:300kg
- 主機重量:550kg
- 主機外型尺寸:1020mm×946mm×2200mm
( 2)*控制系統
3)精密過濾器
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