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HORIBA堀場數字質量流量控制器玉科精選
HORIBA堀場數字質量流量控制器玉科精選
數字質量流量控制器
SEC-N100 系列適用于各種行業和應用。該質量流量控制器可以控制各種流量:從 10 SCCM 到 1000 SLM。SEC-N100 系列還提供各種類型的通信,即數字/模擬、DeviceNet™、CC-Link®、PROFIBUS™ 和 EtherCAT®。SEC-N100 系列提供高精度 (+/- 1.0% S.P. *1) 和高速響應。該質量流量控制器還具有多氣體/多量程功能,強調其在您的過程中降低成本的能力。
*1 不包括 SEC-N17X 系列。
控制范圍廣,從微流量到大流量,從 10 SCCM 到 1000 SLM
各種通信和電源
高 S.P. 精度:+/- 1.0% S.P. (*1)
1 秒高速響應 (*1)
多氣體、多量程解決方案
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