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HORIBA堀場全新壓力不敏感質量流量模塊
HORIBA堀場全新壓力不敏感質量流量模塊
壓力不敏感質量流量模塊
這種的壓力不敏感質量流量模塊安裝了差壓檢測和壓電執行器閥。
CRITERION D500 提供的高性能確保其可用于一系列優良的半導體制造工藝;壓力不敏感、多量程/多氣體/多壓力、G-LIFE（綜合限流器方程的氣體定律檢查）自診斷功能，精度高，響應快，量程寬，全金屬。
壓力不敏感性能
新的高性能壓力不敏感功能提供了簡化的供氣系統
多量程、多氣體、多壓力解決方案
新功能允許用戶更改氣體類型、滿量程流量和供氣壓力范圍
G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律檢查）自診斷功能
優良的過程健康監測功能允許作員進行自己的測試，通常在 3 秒或更短的時間內，以提高吞吐量
高精度
通過優良的三維調整提高了工藝氣體的流量精度
快速響應
響應：< 0.8 秒
可實現準確、穩定的流量控制
動態范圍
寬控制范圍：0.2% F.S. 至 100% F.S.
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