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半導體設備日本理學Rigaku熒光射線分析儀
半導體設備日本理學Rigaku熒光射線分析儀
除了能夠測量大直徑樣品(φ400 mm x 50 mm)外,還可以測量質量達30 kg的樣品,非常適合濺射靶材、磁盤分析、多層膜測量或元素分析大樣本。這是一種熒光X射線分析儀,可以使用各種適配器測量各種形狀的樣品和多個樣品。配備了ZSX Primus系列成熟的軟件“ZSX Guidance",實現了出色的可操作性和可維護性。配備了人為錯誤預防功能,即使是初學者也能獲得準確的分析結果。
還可以在用內置高分辨率相機觀察樣品圖像的同時測量位置并進行點映射測量。我們滿足包括輕和超輕元素在內的高精度測繪測量的需求。
產品名稱 | ZSX Primus400 | |
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方法 | 波長色散射線熒光分析 (WDXRF) | |
目的 | 固體、粉末、合金和薄膜的元素分析 | |
技術 | 掃描波長色散 X 射線熒光分析 (WDXRF) | |
主要部件 | 3/4 kW 密封 射線管,r-theta 臺 | |
選項 | 用于附加分析的晶體、各種樣品架、相機 | |
控制(電腦) | 外部 PC、MS Windows® 操作系統、ZSX 指導軟件 | |
機身尺寸 | 1376(寬)x 1439(高)x 890(深)毫米 | |
重量 | 約800公斤(本體) | |
電源 | 三相 200 VAC 50/60 Hz,8 kW |
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