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玉崎科學儀器(深圳)有限公司
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玉崎科學半導體設(shè)備理學Rigaku高精度射線

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號XTRAIA CD-3010G

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-09-29 10:00:37瀏覽次數(shù):335次

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價格區(qū)間 面議 應用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合
玉崎科學XTRAIA CD-3010G半導體設(shè)備理學Rigaku高精度射線
玉崎科學半導體設(shè)備理學Rigaku高精度射線

斜入射X射線CD測量工具

玉崎科學半導體設(shè)備理學Rigaku高精度射線

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可以使用 GISAXS CD 測量和 X 射線反射率 (XRR) 測量來測量薄膜厚度、密度和粗糙度。

兼容最大 300mm 晶圓

XTRAIA CD-3010G 規(guī)格

方法掠入射小角 X 射線散射測量 (GISAXS)
X 射線反射測量 (XRR)
目的淺重復結(jié)構(gòu)的臨界尺寸測量
X射線源封裝管,Cu Ka (8.04 KeV)
X射線光學系統(tǒng)多層鏡光學系統(tǒng)
X射線探測器二維探測器
主要部件圖案化晶圓的測量
周期性精細 3D 形狀
線和空間、點或孔結(jié)構(gòu)
淺孔/柱、抗蝕劑、掩模圖案、存儲器件的單元區(qū)域、FinFET/GAA
特征模式識別和全晶圓映射
選項GEM300 軟件,E84/OHT 支持
機身尺寸1865(W) × 3700(D) × 2115(H) mm, 2965 kg(含裝載口) 
測量目標GISAXS:節(jié)距、CD、高度、SWA(側(cè)壁角)、RT(圓頂)、RB(圓底)、線寬分布、節(jié)距分布、高度分布
XRR:膜厚、密度和粗糙度差

































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