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江蘇氣體質量流量控制器 MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

介質要求 潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍 0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±0.5% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

控制響應時間<3 秒

預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門  常閉式