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氣體流量控制器MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
產品特點
超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應
高重復性，寬量程比
更小體積，安裝方便
無需預熱，使用便捷
分階流量控制軟件，靈活配置
主要參數
介質要求
潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
測量和控制范圍 0.2%-100%F.S. （1:500）
準確度 ±0.5%F.S.
重復精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
傳感器響應時間 5ms
控制響應時間 300ms
預熱時間 ≤1s
閥門 常閉式
最大工作壓力 1.1 MPa（11bar）
工作壓差范圍 0-1 MPa
工作溫度范圍 0-65℃（環境和氣體）
溫度范圍 0 - 98%無凝露
氣路接頭類型 快插、快擰、卡套、VCR（可選）
氣體接觸材質 氟橡膠、黃銅、300-系列不銹鋼、硅
密封材質 氟橡膠 FKM
防護等級 IP40
安裝方式 任意方向安裝
固定孔 M4 ? 5mm
重量 0.38kg
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