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mfc300-熱式氣體質量流量控制器
  • mfc300-熱式氣體質量流量控制器
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貨物所在地：江蘇蘇州市

所在地： 蘇州市吳江區柳胥路99號 半導

更新時間：2025-02-11 11:54:39

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愛拓利AITOLY是一家質量流量計和控制器的專業研發制造商。愛拓利專注于微小流量測量與控制，擁有自主知識產權的傳感器、高精度比例閥等，研發生產的質量流量計及流量控制器，在工業和科學領域已穩定運行十數年。目前主營產品有熱式氣體質量流量控制器MFC300 和MFC330，皂膜流量標準裝置等。

MFC300熱式氣體質量流量控制器 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

熱式氣體質量流量控制器

產品特點

超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應

高重復性，寬量程比

更小體積，安裝方便

無需預熱，使用便捷

分階流量控制軟件，靈活配置


TECHNICAL PARAMETERS
技術參數
主要參數
  • 介質要求
    潔凈干燥無腐蝕性氣體
  • 氣體種類
    Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
  • 測量和控制范圍
    0.2%-100%F.S. （1:500）
  • 準確度
    ±0.5%F.S.
  • 重復精度
    ±0.5%F.S.
  • 線性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
  • 傳感器響應時間
    5ms
  • 控制響應時間
    300ms
  • 預熱時間
    ≤1s
  • 閥門
    常閉式



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