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MFC330系列是熱式氣體質量流量控制器。由質量流量傳感器、分流結構、高精度比例閥和運放電路等部件組成。

流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產生的溫度場變化來測量氣體質量流量，通過電橋將溫度場的變化轉化為電信號并經過電路放大、濾波處理，處理后的信號采集進處理器芯片，再通過氣體流量外標法和溫壓補償得到準確的真實氣體流量值。

氣體實際流量值與流量設定值進行比較, 將差值通過智能算法去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與流量設定值相等，實現氣體流量的精準控制.