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愛拓利

產品簡介詳細介紹

MFM330 氣體質量流量計結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

MFM330氣體質量流量計，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFM330氣體質量流量計依然能夠保持穩定的流量控制。

MFC330工作原理：

產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

主要參數：

介質要求

潔凈干燥氣體

氣體種類

98+氣體可選

量程

10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍

0.5%-100% F.S.

準確度

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2%F.S.

線性度

±0.2%F.S.

分辨率

0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）

傳感器響應時間

<1s

預熱時間

5 min（T95），30 分鐘最佳

泄漏率

1*10-11Pa.m3/sec He

機械特性：

最大工作壓力

3 MPa（30bar）

工作壓差范圍

0-1 MPa

工作溫度范圍

-20~65℃℃（環境和氣體）

溫度范圍

0 ~ 98%無凝露

氣路接頭類型

快插、快擰、卡套、VCR（可選）

氣體接觸材質

氟橡膠、316不銹鋼

密封材質

氟橡膠 FKM

防護等級

IP40

安裝方式

水平安裝方向校準

固定孔

M4 ↓ 5mm

重量

0.82kg

電氣和通訊：

電氣連接接口類型

DB-9 公頭

模擬信號

0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

輸入輸出阻抗

輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ

模擬數據更新頻率

200Hz

數字信號

RTU （RS232， RS485），CAN

通信速率

9600（默認），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）

電源

15-40 VDC，<200 mA

顯示更新頻率

50Hz

模擬信號精度

±0.05%F.S.

特征：

標況

20℃ & 1 atm

氣體選擇

98種氣體可選，具體參考說明書氣體系數

軟件

Aitoly分階流量軟件

尺寸：

滿量程	高	款	深度	A	B	C	D	E	重量
2 sccm~50 slpm	125.00 mm	76.00 mm	32.00 mm	64.00 mm	17.80 mm	7.00 mm	6.00 mm	M4 ↓ 5 mm	≈0.82 kg
2 sccm~50 slpm	4.921 in	2.992 in	1.260 in	2.520 in	0.701 in	0.276 in	0.236 in	M4 ↓ 0.197 in	≈2.1 lb
100 sccm~500 slpm	138 mm	82 mm	38 mm	62 mm	30 mm	10 mm	10 mm	M4 ↓ 8 mm	≈1 kg
100 sccm~500 slpm	5.43 in	3.22 in	1.496 in	2.440 in	1.181 in	0.157 in	0.393 in	M4 ↓ 0.31 in	≈2.21 lb