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MFM330-MFM氣體流量計
  • MFM330-MFM氣體流量計
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貨物所在地:江蘇蘇州市

地: 蘇州市吳江區柳胥路99號 半導

更新時間:2025-01-24 15:47:26

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MFM(氣體流量計)由電路板,傳感器進出氣管接頭,分流器通道機殼,只對氣體質量流量進行測量。

MFM氣體流量計

  產品特性

   ◆無可移動部件

   ◆支持多種通訊協議
   ◆容易安裝及維護
   ◆高精度、高穩定性、非常低的零漂
   ◆可測多種氣體
   ◆一體液晶顯示和按鍵操作
   內置溫度和壓力傳感器
   同時顯示氣體瞬時流量和累積流量

      應用領域:


 技術參數:


   ——分析儀器

——干刻(RIE/DRIE)

流量規格:

0~5、10、20、50、100、200、300、500SCCM

0~1、2、5、10、20、30、50SLPM

  ——生物技術


——氣相色譜分析

   ——激光焊機


——過程自動化

準確度:

±0.5%F.S.

  ——真空鍍膜


——燃料電池
重復精度:

±0.2%F.S.

 

  產品尺寸:




MFM氣體流量計

使用溫度:

-20~65℃
使用濕度:

0~98%(?凝露)

Max耐壓:

3MPa
響應時間: <1s
供電電壓:

15~40VDC

功率:

<1.2W

通訊方式:RS232、RS485、CAN、0~5VDC、4~20mA
氣路部件材質:SUS304、SUS316L

密封件材質:

氟橡膠

氣路接頭:

快擰、快插、卡套、VCR


 外接顯示器尺寸:


MFM氣體流量計


  電氣連接:DB9


MFM氣體流量計


  產品造型:


MFM氣體流量計



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