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一、核心參數：  

價格區間：200萬-300萬  

儀器種類：電子束蒸發鍍膜機  

產地類別：國產  

應用領域：微電子學  

基片尺寸：4寸（可定制）  

靶材：AL  

基片溫度范圍：RT-900oC  

成膜厚度均勻性：均一性<3%  

極限真空：<1E-9Torr  

二、約瑟夫森結超高壓系統：  

全自動四腔超高真空雙傾角鍍膜系統專專業制備約瑟夫森結制備，可精確生長所需的金屬層和氧化絕緣層，確保高性能制備及高成品率；此鍍膜儀有進樣室、氬離子清洗室、電子束蒸發室以及氧化室，共計四個高真空腔室，腔室間使用傳樣桿進行高真空傳樣，傳遞模組須采用抓取式設計；設備所有工藝均支持4英寸及以內的晶圓或不規則樣品。設備整個工藝過程，可以按照用戶設置的參數自動化運行，工藝流程包括并不限于：抽真空，監測氣壓，離子清洗，樣品位置調節、傳樣，加熱，電子束蒸發特定厚度設置，自動調整氣壓等。  

三、廈門韞茂科技有限公司為您提供全自動四腔超高真空雙傾角鍍膜系統QBT-J的參數、價格、型號、原理等信息，QBT-J產地為福建、品牌為韞茂，型號為QBT-J，價格為200萬-300萬RMB，更多相關信息可咨詢，公司客服電話7*24小時為您服務。  

四、售后服務：  

保修期：1年  

是否可延長保修期：否  

現場技術咨詢：有  

免費培訓：1.設備出廠前，提供至少2人一周的設備原廠培訓。2.設備在現場完成安裝調試  

免費儀器保養：有需要可安排

保內維修承諾：保修期內（除天災和人為損害外）部件、元件費用、出差費用均由我司承擔

報修承諾：質保期內出現故障時我司將及時響應，并在8小時內派技術人員到現場解決故障

五、技術參數：