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數字化智能四探針測試儀的研制
閱讀：261 發布時間：2020-2-3摘要：將傳統直流四探針測試儀與嵌入式系統相結合，研制出數字化智能四探針測試儀。該儀器可以自動識別被測樣品電阻率，并自動切換到很好檔位，操作簡便工作效率高,具有一定的實用和開發價值。
1 引言
直流四探針測試法是微電子行業常用的測量材料電阻率的方法，通過測量材料的電阻率可以得到材料的摻雜濃度等重要信息。因此，在微電子工業中四探針測試儀一直是十分重要的測量儀器。
近年來，微電子工業在中國大陸發展迅速，傳統的數字式直流四探針測試儀需要手動調節檔位，測量周期長、工作效率低，已經無法適應時代發展，國內需要尋求一種新型的測試設備。
本文中介紹的數字化智能四探針測試儀可以自動切換量程、自動運算相關的數據。用戶甚至可以在不了解四探針測試原理的情況下方便地測量材料的電阻率。該儀器具有PC機接口，通過PC機可以集中管理且硬件成本低廉。