超聲波是振動(dòng)次數(shù)超過(guò)每秒二尤次的聲波。這種聲波是人的耳朵不能聽(tīng)見(jiàn)的,所以又叫做“聽(tīng)不見(jiàn)的聲音”。超聲波有許多特異的性質(zhì),它能破壞或搗碎各種物質(zhì),可以清除空氣中的塵土或煤煙,促進(jìn)植物的成長(zhǎng)或殺死細(xì)菌等。但是超聲波一個(gè)很重要的用途在用檢驗(yàn)金屬零件的缺陷。蘇聯(lián)科學(xué)家沙可格夫利用超聲波創(chuàng)造了超聲波顯微鏡,用這種顯微鏡可以看到不透明物體內(nèi)部的裂縫、沙眼等的放大像。
超聲波顯微鏡相比于光學(xué)顯微鏡擁有著更高的分辨率和清晰度,在觀察同一物品時(shí)使用能夠比光學(xué)顯微鏡的觀察度更高,也能夠保證所觀察物品的細(xì)節(jié)和微小分子能夠被購(gòu)買(mǎi)者捕捉。
超聲波顯微鏡擁有著更高的掃描頻率和分辨率,由于光學(xué)顯微鏡的觀察樣品是有著尺寸范圍的,小于納米范圍及其以下的觀察對(duì)象光學(xué)顯微鏡是無(wú)法捕捉和放大的,而使用超聲波顯微鏡就能夠較為輕松的解決觀察對(duì)象尺寸過(guò)于微小的難題。
其核心就是帶壓電陶瓷的微波鏈,壓電陶瓷在射頻信號(hào)發(fā)生的激勵(lì)下,產(chǎn)生短的聲脈沖,隨后這些聲脈沖被聲透鏡聚焦在一起,這個(gè)帶壓電陶瓷的部件叫換能器,英文是:Transducer。換能器既能把電信號(hào)轉(zhuǎn)換成聲波信號(hào),又能把從待測(cè)樣品反射或透射回來(lái)的聲波信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào),送回系統(tǒng)進(jìn)行處理。
兩種工作模式:基于超聲波脈沖反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式,它的特點(diǎn)是分辨率高,對(duì)待測(cè)樣品厚度的沒(méi)有限制。透射模式只在半導(dǎo)體企業(yè)中用作器件篩選。
應(yīng)用領(lǐng)域:
半導(dǎo)體電子行業(yè):半導(dǎo)體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
材料行業(yè):復(fù)合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導(dǎo)材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等;
生物醫(yī)學(xué):活體細(xì)胞動(dòng)態(tài)研究、骨骼、血管的研究等。