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FEI “Q系列”掃描電子顯微鏡
對(duì)于失效分析、質(zhì)量控制和材料表征而言、Q25是最經(jīng)濟(jì)、高效的高分辨成像和分析應(yīng)用的解決方案。在設(shè)計(jì)上側(cè)重易用性、Q25可以讓用戶迅速得到他們所需的數(shù)據(jù)。
為應(yīng)對(duì)不導(dǎo)電樣品、Q25提供了低真空模式下的高性能、消除了對(duì)的樣品制備步驟或者附加的樣品鍍膜儀的需求。Q25樣品室的設(shè)計(jì)和真空系統(tǒng)能夠快速更換樣品、允許日常高效、快速檢測(cè)樣品。
為滿足客戶對(duì)大樣品或塊狀樣品的要求、Q45提供了更大的真空樣品室和100mm的樣品臺(tái)行程。另外、Q45加上了環(huán)境掃描（ESEM）模式、擴(kuò)展了SEM的成像和分析功能到加熱、含水或放氣的樣品。
簡(jiǎn)單易用，即使是新手利用直觀的軟件可實(shí)現(xiàn)高效操作。
利用穩(wěn)定的高束流（上至2 μA）電子束可以迅速獲得精確的分析結(jié)果。
快速輕松表征導(dǎo)電和非導(dǎo)電樣品
支持可選的分析功能。利用獨(dú)有的多級(jí)穿過(guò)透鏡的真空系統(tǒng)在高真空和低真空下使導(dǎo)電樣品和不導(dǎo)電樣品的精確EDS分析成為可能。
Q45 SEM: 采用為ESEM選配的帕爾貼冷臺(tái)可在樣品的自然含水狀態(tài)下完成樣品的動(dòng)態(tài)原位分析。
FEI “Q系列”掃描電子顯微鏡
| 分辨率 | 加速 電壓 | 探針電流 樣品臺(tái) | 放大率 | 試件室尺寸 | |
| Q25 SEM | High vacuum
Low vacuum
*optional | 200 V - 30 kV | up to 2 μA, continuously adjusted | 13 to 1000000x | 284 mm size left to right |
| Q45 SEM | High vacuum
High vacuum with beam deceleration option 7.0 nm at 3 kV(BD mode* + vCD*) Low vacuum
Extended vacuum mode (ESEM) *optional | 200 V - 30 kV | up to 2 μA, continuously adjusted | 6 to 1000000x | 284 mm size left to right |
